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公开(公告)号：DE112010001207B4
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：DE112010001207
申请日：2010-03-16
Applicant: ULVAC INC
Inventor： MIYASHITA TAKESHI , NAKAJIMA TOYOAKI , NAGATA YASUSHI , UCHIDA YASUFUMI , YOSHIZAWA HIDEKI
Abstract: Verfahren zum Detektieren von Sauerstoff oder Luft in einer Vakuumverarbeitungskammer, umfassend: Bereitstellen eines Gitters (102), eines Ionenauffängers (103), und eines Glühfadens (101), bei dem ein Oxid auf einer Metalloberfläche ausgebildet ist; Anlegen eines Glühfadenstroms an den Glühfaden (101), wobei thermionische Elektronen, die durch Wärmeerzeugung erzeugt werden, von dem Glühfaden (101) abgegeben werden, wobei der zu dem Glühfaden (101) fließende Glühfadenstrom so gesteuert wird, dass ein Emissionsstrom, der durch die abgegebenen thermionischen Elektronen, die an dem Gitter (102) ankommen, erzeugt wird, konstant wird, wobei die abgegebenen thermionischen Elektronen eine unbestimmte Art von Gas, die in der Vakuumverarbeitungskammer vorhanden ist, durch Kollision mit Gasmolekülen des Gases vor dem Ankommen an dem Gitter (102) ionisieren, wobei positive Ionen erzeugt werden; Auffangen der Ionen mit dem Ionenauffänger (103); und Messen eines Werts des Glühfadenstroms und Detektieren ob das in der Vakuumverarbeitungskammer vorhandene Gas Sauerstoff oder Luft ist, basierend auf dem gemessenen Wert, wobei der Druck in der Vakuumverarbeitungskammer 5 × 10–4 Pa oder mehr beträgt und das Detektieren einen Vergleich des gemessenen Glühfadenstromwerts mit zumindest einem Referenzglühfadenstromwert, der für mindestens eines der Gase aus der Gruppe Stickstoff, Sauerstoff und Luft für zumindest einen Druck von 5 × 10–4 Pa oder mehr in der Vakuumverarbeitungskammer in Voraus bestimmt wurde, umfasst.
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公开(公告)号：DE112005002501B4
公开(公告)日：2014-10-09
申请号：DE112005002501
申请日：2005-11-07
Applicant: ULVAC INC
Inventor： MIYASHITA TAKESHI , TAKAHASHI NAOKI
IPC: G01L21/12
Abstract: Pirani-Vakuummessvorrichtung mit: einem Zylinderkörper (2), dessen Inneres mit einem Raum (S) in Verbindung steht, dessen Druck zu messen ist; einem im Zylinderkörper (2) enthaltenen Heizfaden (1); und einem Rohr (7), das den Heizfaden (1) im Zylinderkörper (2) umgibt, so dass der Heizfaden (1) durch eine Mittelachse des Rohres (7) hindurchgeht, wobei (A) der kleinste Abstand zwischen den einander zugewandten Innenwänden des Rohrs (7) weniger als 4 mm beträgt und (B) das Rohr (7) mehr als 80% der Länge des Heizfadens (1) überdeckt, und mit einer Heizfadenhalterung (6), welche im Zylinderkörper (2) enthalten ist und welche ein Ende des Heizfadens (1) haltert.
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公开(公告)号：DE112005002501T5
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：DE112005002501
申请日：2005-11-07
Applicant: ULVAC INC
Inventor： MIYASHITA TAKESHI , TAKAHASHI NAOKI
IPC: G01L21/12
Abstract: A Pirani vacuum gauge in which dependency of temperature of a filament on variation of gas pressure is raised and the gas pressure can be measured with high accuracy. The Pirani vacuum gauge includes a cylindrical body 2 in which the interior communicates with a space to be measured for pressure; a filament 1 enclosed in the cylindrical body 2; and a pipe 7 surrounding the filament 1 in the cylindrical body, the least distance between the facing inner walls of the pipe being equal to less than 6 mm and the pipe 7 covering more than 80% of the length of the filament 1.
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公开(公告)号：DE112010001207T5
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：DE112010001207
申请日：2010-03-16
Applicant: ULVAC INC
Inventor： MIYASHITA TAKESHI , NAKAJIMA TOYOAKI , NAGATA YASUSHI , UCHIDA YASUFUMI , YOSHIZAWA HIDEKI
Abstract: Ein Sauerstoffdetektionsverfahren beinhaltet: Bereitstellen eines Gitters (102), eines Ionenauffängers (103), und eines Glühfadens (101), bei dem ein Oxid auf einer Metalloberfläche ausgebildet ist; Steuern eines zu dem Glühfaden (101) fließenden Glühfadenstroms, so dass ein Emissionsstrom konstant wird; Abgeben von durch Wärmeerzeugung verursachten thermionischen Elektronen durch Anlegen des Glühfadenstroms, und Erzeugen von Ionen durch Ionisieren eines Gases; Auffangen der Ionen mit dem Ionenauffänger (103); und Detektieren von in einer Vakuumverarbeitungskammer vorhandenem Sauerstoff durch Messen eines Glühfadenstromwerts.
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