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公开(公告)号：DE112010001207B4
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：DE112010001207
申请日：2010-03-16
Applicant: ULVAC INC
Inventor： MIYASHITA TAKESHI , NAKAJIMA TOYOAKI , NAGATA YASUSHI , UCHIDA YASUFUMI , YOSHIZAWA HIDEKI
Abstract: Verfahren zum Detektieren von Sauerstoff oder Luft in einer Vakuumverarbeitungskammer, umfassend: Bereitstellen eines Gitters (102), eines Ionenauffängers (103), und eines Glühfadens (101), bei dem ein Oxid auf einer Metalloberfläche ausgebildet ist; Anlegen eines Glühfadenstroms an den Glühfaden (101), wobei thermionische Elektronen, die durch Wärmeerzeugung erzeugt werden, von dem Glühfaden (101) abgegeben werden, wobei der zu dem Glühfaden (101) fließende Glühfadenstrom so gesteuert wird, dass ein Emissionsstrom, der durch die abgegebenen thermionischen Elektronen, die an dem Gitter (102) ankommen, erzeugt wird, konstant wird, wobei die abgegebenen thermionischen Elektronen eine unbestimmte Art von Gas, die in der Vakuumverarbeitungskammer vorhanden ist, durch Kollision mit Gasmolekülen des Gases vor dem Ankommen an dem Gitter (102) ionisieren, wobei positive Ionen erzeugt werden; Auffangen der Ionen mit dem Ionenauffänger (103); und Messen eines Werts des Glühfadenstroms und Detektieren ob das in der Vakuumverarbeitungskammer vorhandene Gas Sauerstoff oder Luft ist, basierend auf dem gemessenen Wert, wobei der Druck in der Vakuumverarbeitungskammer 5 × 10–4 Pa oder mehr beträgt und das Detektieren einen Vergleich des gemessenen Glühfadenstromwerts mit zumindest einem Referenzglühfadenstromwert, der für mindestens eines der Gase aus der Gruppe Stickstoff, Sauerstoff und Luft für zumindest einen Druck von 5 × 10–4 Pa oder mehr in der Vakuumverarbeitungskammer in Voraus bestimmt wurde, umfasst.
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公开(公告)号：DE112010001207T5
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：DE112010001207
申请日：2010-03-16
Applicant: ULVAC INC
Inventor： MIYASHITA TAKESHI , NAKAJIMA TOYOAKI , NAGATA YASUSHI , UCHIDA YASUFUMI , YOSHIZAWA HIDEKI
Abstract: Ein Sauerstoffdetektionsverfahren beinhaltet: Bereitstellen eines Gitters (102), eines Ionenauffängers (103), und eines Glühfadens (101), bei dem ein Oxid auf einer Metalloberfläche ausgebildet ist; Steuern eines zu dem Glühfaden (101) fließenden Glühfadenstroms, so dass ein Emissionsstrom konstant wird; Abgeben von durch Wärmeerzeugung verursachten thermionischen Elektronen durch Anlegen des Glühfadenstroms, und Erzeugen von Ionen durch Ionisieren eines Gases; Auffangen der Ionen mit dem Ionenauffänger (103); und Detektieren von in einer Vakuumverarbeitungskammer vorhandenem Sauerstoff durch Messen eines Glühfadenstromwerts.
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