公开(公告)号：RU2449409C2

公开(公告)日：2012-04-27

申请号：RU2009119458

申请日：2007-10-18

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  SHEHN GUO KHUA ,  SATAKE TOKHRU

IPC: H01J37/06

Abstract: Использование: дляуправленияэлектроннойпушкойтипаПирса. Сущностьзаключаетсяв том, чтосостояниефокусировкиэлектронноголучавыполняютпостояннымпосредствомизмерениятемпературывнутриэлектроннойпушкии осуществленияобратнойсвязитемпературыпоскоростивыпускавакуумнойсистемывыпускадлярегулированиядавлениявнутриэлектроннойпушки. Техническийрезультат: обеспечениевозможностиустранениялюбыхвлиянийэффектапространственногозаряда, атакженейтрализующегодействияпространственногозарядавнутриэлектроннойпушкидлядостиженияполногоуправленияэлектроннымлучом. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 15 ил.