公开(公告)号：RU2401476C1

公开(公告)日：2010-10-10

申请号：RU2009138324

申请日：2008-03-11

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  KHAKOMORI MUNETO ,  KURAUTI TOSIKHARU ,  JANO TAKANOBU

IPC: H01J11/00 ,  H01J9/20 ,  H01J9/26 ,  H01J11/02 ,  H01J11/12 ,  H01J11/24 ,  H01J11/26 ,  H01J11/46 ,  H01J11/48

Abstract: Настоящееизобретениеотноситсяк отображающимустройствам, аболееконкретнок способупредотвращенияпопаданиягазообразныхпримесейв плазменнуюотображающуюпанель. Плазменнаяотображающаяпанельсодержитсветоизлучающуюобласть 15, окруженнуюгерметичноуплотненнойдеталью 17, включающейв себяметаллическуюпленку, плотноприклееннуюк первойи второйпанелям 20 и 30, уплотнительнуюдеталь 41, скрепляющуюпервуюи вторуюпанели 20 и 30 другс другом, расположеннуюснаружиотгерметичноуплотненнойдетали 17. Дажекогдавлагапроникаетчерезуплотняющуюдеталь 41, онанеможетпроникнутьчерезгерметичноуплотненнуюдеталь 17 инепопадаетв светоизлучающуюобласть 15. Посколькууплотнительнаядеталь 41 можетпропускатьвлагу, внейможноиспользоватьсмолу, твердеющуюпривоздействииультрафиолетадляповышенияэффективностипроизводства. Техническийрезультат - предотвращениепопаданиягазообразныхпримесейв плазменнуюотображающуюпанель. 4 з.п. ф-лы, 11 ил., 2 табл.

公开(公告)号：RU2395863C2

公开(公告)日：2010-07-27

申请号：RU2008139894

申请日：2007-04-04

Applicant: ULVAC INC

Inventor： KURAUTI TOSIKHARU ,  IIDZIMA EHJITI

IPC: H01J5/20 ,  H01J7/18 ,  H01J9/02 ,  H01J9/26 ,  H01J9/39 ,  H01J11/24 ,  H01J11/36 ,  H01J11/46 ,  H01J11/48 ,  H01J11/52

Abstract: Настоящееизобретениеотноситсяк герметичнойпанелии способупроизводстваплазменнойиндикаторнойпанели. Техническийрезультат - предоставлениегерметичнойпанели, способнойподавлятьповышениенапряженияразряда, испособапроизводстваплазменнойиндикаторнойпанели. Достигаетсятем, чтопредлагаетсягерметичнаяпанель (100), котораяможетподавитьповышениенапряженияразряда. Герметичнаяпанель (100) содержитгерметизирующийматериал (20), содержащийсмолистыйматериал, расположенныйповсейперифериинаучасткемеждупаройподложек (1, 2). Вдольвнутреннейперифериигерметизирующегоматериала (20) непрерывноилипрерывистосформировангазопоглотитель (22), которыйадсорбируетпримесныйгаз, выделившийсяизгерметизирующегоматериала (20), ипримесныйгаз, прошедшийчерезгерметизирующийматериал (20). Крометого, вдольвнутреннейперифериигерметизирующегоматериала (20) непрерывносформированзащищающийотультрафиолетаэкран (24) дляпредотвращенияпопаданиянагерметизирующийматериал (20) ультрафиолетовогоизлучения, генерируемоговнутригерметичнойпанели (100). 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 13 ил.

公开(公告)号：RU2449409C2

公开(公告)日：2012-04-27

申请号：RU2009119458

申请日：2007-10-18

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  SHEHN GUO KHUA ,  SATAKE TOKHRU

IPC: H01J37/06

Abstract: Использование: дляуправленияэлектроннойпушкойтипаПирса. Сущностьзаключаетсяв том, чтосостояниефокусировкиэлектронноголучавыполняютпостояннымпосредствомизмерениятемпературывнутриэлектроннойпушкии осуществленияобратнойсвязитемпературыпоскоростивыпускавакуумнойсистемывыпускадлярегулированиядавлениявнутриэлектроннойпушки. Техническийрезультат: обеспечениевозможностиустранениялюбыхвлиянийэффектапространственногозаряда, атакженейтрализующегодействияпространственногозарядавнутриэлектроннойпушкидлядостиженияполногоуправленияэлектроннымлучом. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 15 ил.

公开(公告)号：RU2435246C2

公开(公告)日：2011-11-27

申请号：RU2009144978

申请日：2008-05-30

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  KHAKOMORI MUNETO ,  KURAUTI TOSIKHARU ,  JANO TAKANOBU ,  ORII JUITI

IPC: H01J9/26 ,  H01J17/18

Abstract: Изобретениеотноситсяк способуи устройствудляизготовлениягерметизированнойпанелии способуи устройствудляизготовленияплазменнойдисплейнойпанели. Техническийрезультат - предоставлениеспособаи устройствадляизготовлениягерметизированнойпанелии такжеспособаи устройствадляизготовленияплазменнойдисплейнойпанели, которыеделаютвозможнымповышениепроизводительностии эффективностииспользованияэнергии. Достигаетсятем, чтоспособизготовлениягерметизированнойпанели, имеющейпервуюподложкуи вторуюподложку, включает: стадиюплавлениягерметизирующегоматериала, которыйнесодержитсвязующего, чтобыполучитьгерметизирующийматериалв видеклея; стадиюнанесенияпокрытияизрасплавленногогерметизирующегоматериаланаповерхностьвторойподложки; истадиюгерметизациис наслаиваниемоднойнадругуюпервойподложкии второйподложкипосредствомгерметизирующегоматериала, нанесенногонаповерхностьвторойподложки. 6 н. и 6 з.п. ф-лы, 10 ил.

公开(公告)号：RU2376399C1

公开(公告)日：2009-12-20

申请号：RU2008127410

申请日：2006-11-28

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  F16K3/10

Abstract: Изобретениеотноситсяк вакуумномузатворудляотделениякамерыосажденияи частиэлектроннойпушкивакуумногоустройстваи можетнайтиприменениеприпроизводствеполупроводников, тонкихпленок, жидкихкристаллови другихизделийс тонкопленочнымипокрытиями. Корпусзатвора (2) имеетотверстия, каждоеизкоторыхвыполненов боковыхстенках, обращенныхдругк другу. Затворсодержитзадвижку (3) дляоткрытия/закрытияотверстий, цилиндрическийподвижныйщиток (22), выполненныйс возможностьювведениячерезотверстиенасторонерабочейкамерыв корпусзатвораприоткрытиизатвораи свободногосовершениявозвратно-поступательногоперемещениямеждуними. Приемныйэлемент (21) расположенв отверстиинасторонечастиэлектроннойпушкии контактируетс концевойчастьюподвижногощитка (22). Приводноесредствообеспечиваетвозвратно-поступательноеперемещениеподвижногощитка (22). Концеваячастьподвижногощитка (22) иприемныйэлемент (21) сведеныблизкодругс другомс помощьюприводногосредствадляобеспечениягерметичногоотделениявнутреннейчастиподвижногощиткаи внутреннейчастикорпусазатворадруготдруга. Дажекогдавакуумныйзатвордлявакуумногоустройства, используемогов устройствепарофазногоосаждения, находитсяв открытомположении, вкамерепарофазногоосажденияобеспеченанадежностьсохранениявакуумапутемзащитывнутреннейповерхностикорпусазатвораи задвижкиотпаровосаждаемогоизпаровойфазыматериала. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

公开(公告)号：RU2441297C2

公开(公告)日：2012-01-27

申请号：RU2009146826

申请日：2008-05-30

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  KHAKOMORI MUNETO ,  NAKATUKA MASATO ,  KURAUTI TOSIKHARU

IPC: H01J9/39 ,  H01J9/48 ,  H01J17/49

Abstract: Изобретениеотноситсяк способуи устройствудляпроизводстваплазменнойотображающейпанели. Техническийрезультат - обеспечениеспособаи устройствадляпроизводстваплазменнойотображающейпанели, которыеделаютвозможнымдостигатьулучшенияв пропускнойспособностилиниипроизводстваплазменныхотображающихпанелейи ихэнергетическойэффективности. Достигаетсятем, чтов способепроизводстваплазменнойотображающейпанели, гдегерметизированноепространствоопределеномеждупервойи второйподложками (1, 2) инаполненогазомэлектрическогоразряда, содержитсяпервыйэтапдегазированиядлявыделенияпримесногогазаиззащитнойпленки, сформированнойнапервойподложке (1), чтобызащищатьпервуюподложку (1) отплазменногоэлектрическогоразряда, посредствомнагреванияпервойподложки (1) выше 280°Св вакуумномпространствеилив управляемойатмосфере, иэтапуплотнениядляприведенияпервойподложки (1), гдепримесныйгазвыделяетсяиззащитнойпленки, вконтактсовторойподложкой (2) идлягерметизациипространствамеждуними. Таккакпримесныйгазвыделяетсяиззащитнойпленкипередтем, какперваяподложкаприводитсяв контактсовторойподложкой, ипокапроводимостьудаленияявляетсявысокой, очисткаможетвыполнятьсяв короткоевремя. Дополнительно, таккакзащитнаяпленканагреваетсявыше 280°С, около 70% илиболеепримесногогаза, адсорбированногоназащитнойпленке, можетвыделяться. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 16 ил.

公开(公告)号：RU2425174C2

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：RU2009120030

申请日：2007-10-18

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  KHAKOMORI MUNETO

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/24 ,  H01J9/02 ,  H01J17/49

Abstract: Изобретениеотноситсяк способамформированиязащитногослояприизготовленииплазменнойиндикаторнойпанели (PDP). Приэтомпанельсостоитизпереднейподложки, содержащейсканирующийэлектрод, поддерживающийэлектрод, диэлектрическийслойи защитныйслой, изаднейподложки, содержащейадресныйэлектрод, барьерныеребраи флуоресцентныйматериал, нанесенныйнавнутренниестенкиканавок, образованныхбарьернымиребрами. Способвключаетформированиепленки MgO, имеющейориентацию (111), методомосажденияизпаровойфазысоскоростьюосаждения, составляющей 280 Å/силиболее, ипритемпературеподложки, составляющей 120°Силименее. Техническийрезультат - упрощениепроизводственногопроцесса, возможностьполученияслоя MgO сориентацией (111) засчетпонижениятемпературыосаждения. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 24 ил.

公开(公告)号：RU2421543C2

公开(公告)日：2011-06-20

申请号：RU2009115201

申请日：2007-09-11

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  MASUDA JUKIO ,  ISO JOSIKI ,  KHAKOMORI MUNETO

IPC: C23C14/26

Abstract: Изобретениеотноситсяк устройствудлявакуумногопаровогоосажденияслоянаподложкупутемоблученияматериаланапыления. Устройствосодержитисточник - испарительматериаланапыления, электроннуюпушкуПирса, расположеннуюнапротивисточника-испарителя. Снаруживакуумнойкамеры, сзаднейстороныповерхностиизлученияэлектронногопучка, заточкойиспаренияисточника-испарителярасположенпостоянныймагнитдлясозданиямагнитногополя, посуществу, перпендикулярногонаправлениюпаденияэлектронногопучкаи практическипараллельногоповерхностиизлученияэлектронногопучкаисточника-испарителя, дляотклоненияи направленияэлектронногопучкак точкеиспаренияисточника-испарителя. Врезультатеполучаютнанесенныйпаровымосаждениемслойс большойскоростьюосажденияпосредствомнаправленияэлектронногопучканаточкуиспаренияиспаряемогои осаждаемогоматериала, содержащегосяв источнике-испарителев вакуумнойкамере, иоптимизациядиапазонаизлученияэлектронногопучкав точкеиспарения. 9 з.п. ф-лы, 27 ил.