公开(公告)号：CN103444079A

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201280009253.4

申请日：2012-02-17

Applicant: VTT科技研究中心

Inventor： T.彭萨拉 ,  A.贾亚科拉 ,  M.冈辰科瓦 ,  M.普伦尼拉 ,  J.基伊哈梅基

IPC: H03H9/02 ,  H03H3/007 ,  B81B3/00

CPC classification number: H03H9/02448 ,  B81B3/0078 ,  B81B2201/0271 ,  H01L41/18 ,  H03H3/0072 ,  H03H3/0076 ,  H03H9/2405 ,  H03H9/2447 ,  H03H2009/02503 ,  H03H2009/02519 ,  H03H2009/241 ,  H03H2009/2442 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明关于微机械装置和制造其的方法。该装置包括：由半导体材料制成的振荡或偏转元件（16），其包括n型掺杂剂；和功能地连接到所述振荡或偏转元件（16）的激发或感测部件（10，14）。根据本发明，该振荡或偏转元件（16）基本上均匀地掺杂有所述n型掺杂剂。本发明允许设计具有低温度漂移的多种实用共振器。