公开(公告)号：CN105424325A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510982270.1

申请日：2015-12-24

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 王向朝 ,  唐锋 ,  张国先 ,  徐世福

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/0271 ,  G01J9/0215 ,  G01J2009/0223 ,  G01J2009/0226 ,  G01J2009/0265 ,  G03F7/706

Abstract: 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成，特点在于理想波前发生单元的第一输出端和第二输出端之间的中心距离小于被测光学系统的等晕区的直径，大于被测光学系统像点弥散斑的直径除以被测光学系统的放大倍数。本发明测量仪具有检测步骤简单、测量过程具有平均效果、可实现完整数值孔径的系统误差标定和消除等优点。

公开(公告)号：CN106323478A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610880227.9

申请日：2016-10-09

Applicant: 中国船舶重工集团公司第七一五研究所

Inventor： 张自丽 ,  叶博 ,  陈小军 ,  金梦群 ,  高晓文 ,  葛辉良

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J2009/0226 ,  G01J2009/0249 ,  G01J2009/0265

Abstract: 本发明提供了一个抗偏振衰落的光纤干涉型传感器相位生成载波调制解调系统，该系统包含输出频率调制光束的光源。信号发生器和倍频器，产生光源的频率调制信号和两倍频信号。非平衡光纤干涉仪组成的传感器。3路偏振分集检测模块，获取干涉仪输出的3个偏振方向的干涉信号输出。多通道A/D转换器。一个数字信号处理器，接收A/D转换器的输出信号，完成传感器探测信号的解调。本发明可以实现具有偏振衰落现象的光纤干涉型传感器的相位生成载波调制解调，可以实现实时解调处理，满足解调信号连续性的要求。

公开(公告)号：CN101238347A

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200680028697.7

申请日：2006-08-09

Applicant: 通用医疗公司

Inventor： 本杰明·J·瓦科奇 ,  尹锡贤 ,  吉列尔莫·J·蒂尔尼 ,  布雷特·尤金·鲍马

IPC: G01B9/02 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01B9/02044 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02072 ,  G01B9/02081 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J3/45 ,  G01J2009/0265 ,  G01N21/21 ,  G01N21/274 ,  G01N21/4795

Abstract: 设备、方法和存储介质，其可向样品130提供至少一个第一电磁辐射并且向参考提供至少一个第二电磁辐射，使得第一和/或第二电磁辐射具有随时间变化的谱。此外，第一辐射所关联的至少一个第三辐射405的第一偏振分量可与第二辐射所关联的至少一个第四辐射400的第二偏振分量彼此相组合。第一和第二偏振可被特定控制为彼此至少近似正交。设备和方法用于扫掠源傅立叶域光学相干层析术的正交检测。

公开(公告)号：CN107830937A

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201711287015.0

申请日：2017-12-07

Applicant: 中科院南京天文仪器有限公司

Inventor： 林冬冬 ,  李金鹏 ,  胡明勇 ,  毛羽西 ,  朱庆生 ,  毕勇 ,  郑锋华 ,  李季

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J2009/0223 ,  G01J2009/0265

Abstract: 本发明公开了一种双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法，包括分束光栅、第一偏振片、点衍射板PDP、第二偏振片、平面镜、合束光栅、空间移相组件、CCD图像传感器；双光栅偏振点衍射装置采用分束光栅进行分光，以实现后续光路的相干光调制；采用合束光栅形成共光路结构，以实现检测装置的光干涉，相干光经准直物镜入射到空间移相组件中，最后在CCD图像传感器上采集到移相量相差90°的空间移相干涉图，采用移相算法解算待测波前。

公开(公告)号：CN105675150A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201610027761.5

申请日：2016-01-15

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 张青川 ,  张云天 ,  马宣 ,  伍小平

IPC: G01J9/02 ,  G01J1/42

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J1/42 ,  G01J2001/4242 ,  G01J2009/0265

Abstract: 本发明公开了一种针对结构光场衍射相位的实时检测方法，包括：利用集成有像素偏振片阵列的相机采集通过预设光路输出的参考光光束与空间光调制器调整生成的结构光光束干涉产生的条纹图；其中，所述像素偏振片阵列中每个偏振片单元的尺寸与相机中感光元件的像素尺寸一致且一一对准；将结构光与参考光干涉产生的条纹图根据偏振片单元的偏振方向提取出四幅偏振方向不同的条纹图来计算结构光场的衍射相位。本发明公开的方法，实现了结构光场的光强和相位信息实时测量，使得用户能够深入了解结构光场的物理特性，对于结构光场在光镊，激光微加工，以及光学信号传播领域有很大的推动作用。

公开(公告)号：CN105424325B

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201510982270.1

申请日：2015-12-24

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 王向朝 ,  唐锋 ,  张国先 ,  徐世福

IPC: G01M11/02

CPC classification number: G01M11/0271 ,  G01J9/0215 ,  G01J2009/0223 ,  G01J2009/0226 ,  G01J2009/0265 ,  G03F7/706

Abstract: 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成，特点在于理想波前发生单元的第一输出端和第二输出端之间的中心距离小于被测光学系统的等晕区的直径，大于被测光学系统像点弥散斑的直径除以被测光学系统的放大倍数。本发明测量仪具有检测步骤简单、测量过程具有平均效果、可实现完整数值孔径的系统误差标定和消除等优点。

公开(公告)号：CN101238347B

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200680028697.7

申请日：2006-08-09

Applicant: 通用医疗公司

Inventor： 本杰明·J·瓦科奇 ,  尹锡贤 ,  吉列尔莫·J·蒂尔尼 ,  布雷特·尤金·鲍马

IPC: G01B9/02 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01B9/02044 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02072 ,  G01B9/02081 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J3/45 ,  G01J2009/0265 ,  G01N21/21 ,  G01N21/274 ,  G01N21/4795

Abstract: 设备、方法和存储介质，其可向样品130提供至少一个第一电磁辐射并且向参考提供至少一个第二电磁辐射，使得第一和/或第二电磁辐射具有随时间变化的谱。此外，第一辐射所关联的至少一个第三辐射405的第一偏振分量可与第二辐射所关联的至少一个第四辐射400的第二偏振分量彼此相组合。第一和第二偏振可被特定控制为彼此至少近似正交。设备和方法用于扫掠源傅立叶域光学相干层析术的正交检测。

公开(公告)号：US4844616A

公开(公告)日：1989-07-04

申请号：US200262

申请日：1988-05-31

Applicant: Murlidhar V. Kulkarni ,  William H. Lancaster, Jr.

Inventor： Murlidhar V. Kulkarni ,  William H. Lancaster, Jr.

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01B9/0201 ,  G01B9/02048 ,  G01B9/02057 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9506 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0265 ,  G01N2021/178

Abstract: The invention is a method for detecting both surface topography and defect presence using an AC interferometer. Surface topography measurements are maximized by adjusting the signal voltage of the light modulator to a relative phase-sensitive value. Defect detection is maximized by adjusting the signal voltage of the light modulator to a relatively phase-insensitive value. This method not only allows for heretofore unknown defect detection by an AC interferometer but, because the signal voltage can be switched electronically, permits both observations to be taken at a high speed and for many points of a specimen, thereby making the method suitable for the manufacturing environment. More specifically, the method would be applicable to both optical disk and microchip manufacturing.

Abstract translation: 本发明是使用AC干涉仪检测表面形貌和缺陷存在的方法。 通过将光调制器的信号电压调整到相对相敏值来最大化表面形貌测量。 通过将光调制器的信号电压调整到相对不敏感的值来最大化缺陷检测。 该方法不仅能够通过AC干涉仪进行未知的未知缺陷检测，而且由于可以电子地切换信号电压，因此允许以高速度和样本的多个点进行观察，从而使该方法适合于 制造环境。 更具体地，该方法将适用于光盘和微芯片制造。

公开(公告)号：US20170184455A1

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：US14986560

申请日：2015-12-31

Applicant: Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences

Inventor： Xiangzhao Wang ,  Feng Tang ,  Guoxian Zhang ,  Shifu Xu

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01M11/0271 ,  G01J9/0215 ,  G01J2009/0223 ,  G01J2009/0226 ,  G01J2009/0265 ,  G03F7/706

Abstract: A point diffraction interferometric wavefront aberration measuring device comprising an optical source, an optical splitter, a first light intensity and polarization regulator, a phase shifter, a second light intensity and polarization regulator, an ideal wavefront generator, an object precision adjusting stage, a measured optical system, an image wavefront detection unit, an image precision adjusting stage, and a data processing unit. The center distance between the first output port and the second output port of the ideal wavefront generator is smaller than the diameter of the isoplanatic region of the measured optical system and is greater than the ratio of the diameter of the image point dispersion speckle of the measured optical system over the amplification factor thereof. A method for detecting wavefront aberration of the optical system is also provided by using the device.

公开(公告)号：EP1913332B1

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：EP06813365.1

申请日：2006-08-09

Applicant: THE GENERAL HOSPITAL CORPORATION

Inventor： VAKOC, Benjamin, J. ,  YUN, Seok-Hyun ,  TEARNEY, Guillermo, J. ,  BOUMA, Brett, Eugene

IPC: G01B9/02 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01B9/02044 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02072 ,  G01B9/02081 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J3/45 ,  G01J2009/0265 ,  G01N21/21 ,  G01N21/274 ,  G01N21/4795

Abstract: Apparatus, method and storage medium which can provide at least one first electro-magnetic radiation to a sample 130 and at least one second electro-magnetic radiation to a reference, such that the first and/or second electro-magnetic radiations have a spectrum which changes over time. In addition, a first polarization component of at least one third radiation 405 associated with the first radiation can be combined with a second polarization component of at least one fourth radiation 400 associated with the second radiation with one another. The first and second polarizations may be specifically controlled to be at least approximately orthogonal to one another. Apparatus and method are used for quadrature detection of swept source Fourier domain optical coherence tomography.