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公开(公告)号：CN109686631A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811360713.3
申请日：2018-11-15
Applicant: 温州职业技术学院
Inventor： 郎文昌
Abstract: 本发明公开了一种阵列多孔空心阴极放电电子源，包括基座、磁体、绝缘组件、进气座、阵列多孔板、阴极环，其中进气座及阵列多孔板、阴极环为同电位的放电组件，绝缘组件将放电组件与基座之间形成电位绝缘；阵列多孔板为放电金属板，其上设置有多个阵列贯通孔，放电组件在一定真空度时产生辉光放电，放电过程中贯通孔会产生空心阴极效应电子汇聚，同时阴极环在放电过程中会进一步产生大量放电电子，同时会吸收阳离子；磁体套装在基座上，空心阴极放电效应中的阵列多孔板及阴极环在磁场的作用下，实现高能电子的射出。本发明利用贯通孔辉光放电过程中的空心阴极效应及阴极环吸收阳离子并在磁场下汇聚射出电子，为真空涂层工艺过程提供高能电子。
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公开(公告)号：CN101156505B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200680011252.8
申请日：2006-04-05
Applicant: 卡罗·塔里亚尼 , 弗朗西斯科·西诺·马塔科塔
Inventor： 弗朗西斯科·西诺·马塔科塔
IPC: H05H1/54
Abstract: 一种用于生成、加速和传播高密度电子束和等离子体束的设备和方法，设备包括：含有气体的第一介电管；连接到所述第一介电管的空心阴极；连接到所述空心阴极并向沉积室内凸出并与之连接的第二介电管；在中间位置处布置在所述第二介电管的周围的阳极；用于将电压施加到所述阴极和所述阳极的装置；用于从所述沉积室排空气体的装置；以及用于第一介电管内气体向等离子体的自发转变的装置。
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公开(公告)号：CN101331582A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200680047586.0
申请日：2006-11-17
Applicant: 布莱克本微技术解决方案有限公司
Inventor： 史蒂文·巴莱特·大卫 , 约翰·霍顿·德里克
IPC: H01J61/09
CPC classification number: H01J61/09 , H01J1/025 , H01J9/02 , H01J9/022 , H01J61/06 , Y10T29/49204 , Y10T428/12354
Abstract: 本发明提供了一种电极元件(1)，包含：一端开口的管子，塞子，电极和具有该电极元件的电气装置。同样还提供了一种形成电极元件的方法。
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公开(公告)号：CN109698110A
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201811235291.7
申请日：2018-10-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32596 , H01J1/025 , H01J37/32009 , H01J37/32899 , H01L21/3065
Abstract: 本公开提供了中空阴极以及用于制造半导体器件的装置和方法。一种中空阴极包括具有阴极孔的绝缘板。底电极在绝缘板下面。底电极限定第一孔，该第一孔具有比阴极孔的宽度大的宽度。顶电极在绝缘板的与底电极相反的一侧。顶电极限定第二孔，该第二孔沿着垂直于绝缘板的上表面的方向与第一孔对准。
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公开(公告)号：CN101156505A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200680011252.8
申请日：2006-04-05
Applicant: 卡罗·塔里亚尼 , 弗朗西斯科·西诺·马塔科塔
Inventor： 弗朗西斯科·西诺·马塔科塔
IPC: H05H1/54
Abstract: 一种用于生成、加速和传播高密度电子束和等离子体束的设备和方法，设备包括：含有气体的第一介电管；连接到所述第一介电管的空心阴极；连接到所述空心阴极并向沉积室内凸出并与之连接的第二介电管；在中间位置处布置在所述第二介电管的周围的阳极；用于将电压施加到所述阴极和所述阳极的装置；用于从所述沉积室排空气体的装置；以及用于第一介电管内气体向等离子体的自发转变的装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101310353A
公开(公告)日：2008-11-19
申请号：CN200680006484.4
申请日：2006-01-24
Applicant: 伊利诺伊大学受托管理委员会
Inventor： J·加里·伊登 , 陈国峰 , 内尔斯·P·奥斯特罗姆 , 朴晟镇
IPC: H01J1/62
CPC classification number: H01J61/09 , H01J1/025 , H01J9/02 , H01J17/066 , H01J37/32018 , H01J37/32596 , H01J65/046
Abstract: 一种制造微空腔放电装置和装置阵列的方法。所述装置通过在第一导电层或基底(210、1010)上层叠电介质(1020、220)而制造。第二导电层或结构覆盖在所述介电层上。在一些装置中，产生贯穿所述第二导电层或结构和所述介电层的微空腔(1040、212)。在其它装置中，所述微空腔贯穿至所述第一导电层。所述第二导电层或结构与所述微空腔的内表面一起用第二介电层覆盖。随后用放电气体填充所述微空腔。当合适大小的时变电位施加到所述导体之间时，在所述微空腔内产生微等离子体放电。由于所述导体被封装，保护导体免于由于暴露于等离子体而产生的退化，所以这些装置可以展示出延长的寿命。一些这些装置是柔性的并且可以选择所述电介质从而起镜子的作用。
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公开(公告)号：CN101019200A
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200580030825.7
申请日：2005-07-12
Applicant: 伊利诺伊大学受托管理委员会
CPC classification number: H01J1/025 , B82Y10/00 , H01J3/025 , H01J17/066 , H01J63/02 , H01J2201/30469 , H01J2217/49
Abstract: 本发明提供一种场发射纳米结构(18)，其辅助微放电器件的工作。该场发射纳米结构被集成到微放电器件中或被定位在微放电器件的电极(14，16，36，38)的附近。与没有场发射纳米结构的其他相同的器件相比，该场发射纳米结构降低了工作和启动电压，同时也增加了微放电器件的辐射输出。
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公开(公告)号：CN1692468A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN02822443.4
申请日：2002-11-11
Applicant: 工程吸气公司
Inventor： 阿莱桑卓·加里特格诺塔 , 克劳迪奥·博夫托 , 阿莱斯欧·科拉泽
Abstract: 本发明涉及带有一体化吸气剂的放电灯中空阴极及其制造方法，其中描述了一种中空阴极(20；30；40)，其内表面、外表面或内外表面的至少一部分涂覆了一层吸气材料(21；31；41；41’)。还描述了用于制造本发明的中空阴极的一些方法。
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公开(公告)号：CN1152411C
公开(公告)日：2004-06-02
申请号：CN98800242.6
申请日：1998-02-28
Applicant: M·希兰
Inventor： M·希兰
IPC: H01J61/073 , H01J1/02 , H01J61/09
CPC classification number: H01J9/022 , H01J1/025 , H01J61/0672 , H01J61/0677 , H01J61/09
Abstract: 本发明涉及具有导电载体材料(1)的用于气体放电的冷电极，其中在载体材料(1)上沉积有发射涂层(3)，发射涂层(3)的材料的光电逸出功比载体材料(1)的光电逸出功低，或者低于5.6×10-19焦耳/电子。发射涂层(3)特别地包含钇。电极优选是中空体的形式并且可被包围在玻璃体(8)中。
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公开(公告)号：CN1219283A
公开(公告)日：1999-06-09
申请号：CN98800242.6
申请日：1998-02-28
Applicant: M·希兰
Inventor： M·希兰
IPC: H01J61/073 , H01J1/02 , H01J61/09
CPC classification number: H01J9/022 , H01J1/025 , H01J61/0672 , H01J61/0677 , H01J61/09
Abstract: 本发明涉及具有导电载体材料(1)的用于气体放电的冷电极,其中在载体材料(1)上沉积有发射涂层(3),发射涂层(3)的材料的光电逸出功比载体材料(1)的光电逸出功低,或者低于5.6×10－19焦耳/电子。发射涂层(3)特别地包含钇。电极优选是中空体的形式并且可被包围在玻璃体(8)中。
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