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公开(公告)号：CN1337727A
公开(公告)日：2002-02-27
申请号：CN01122405.3
申请日：2001-07-05
Applicant: 三星电子株式会社 , 弗吉尼亚技术知识资产公司
Inventor： 柳仁暻
IPC: H01J1/30
CPC classification number: H01J1/30 , H01J2201/306
Abstract: 本发明公开一种铁电发射体。本发明的铁电发射体包括具有第一侧面,相对的第二侧面和顶面的铁电层,沿着铁电层顶面形成的第一和第二电极,和具有预定图形的掩模层,并沿着第一和第二电极之间的铁电层的顶面形成。当用于铁电转换发射光刻时,本发明的铁电发射体允许电子从掩模层的宽或窄间隙中和从诸如环行的隔离图形中发射,同时,在热电电子发射中易于重新还原。
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公开(公告)号：CN1211825C
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN01122404.5
申请日：2001-07-05
Applicant: 三星电子株式会社 , 弗吉尼亚技术知识资产公司
Inventor： 柳仁暻
IPC: H01J1/30
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/312 , H01J37/073 , H01J37/3174 , H01J2201/306
Abstract: 在半导体光刻工艺中使用的铁电多层发射体包括下电极，具有顶表面和两个端部分并覆盖在下电极上的铁电层，在除铁电层顶面两个端部分之外的区域上形成的插入电极，具有侧部和具有两个端部分的顶面的介电层，其具有预定图形并沿着铁电层的顶面和插入电极形成，在铁电层对面的介电层一侧上形成的假上电极。本发明的铁电发射体保证电子从掩模层的宽和窄空隙中和在诸如环行的隔离图形中均匀发射，用于铁电转换发射光刻。
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公开(公告)号：CN1185673C
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：CN01122405.3
申请日：2001-07-05
Applicant: 三星电子株式会社 , 弗吉尼亚技术知识资产公司
Inventor： 柳仁暻
IPC: H01J1/30
CPC classification number: H01J1/30 , H01J2201/306
Abstract: 本发明公开一种铁电发射体。本发明的铁电发射体包括具有第一侧面，相对的第二侧面和顶面的铁电层，沿着铁电层顶面形成的第一和第二电极，和具有预定图形的掩模层，并沿着第一和第二电极之间的铁电层的顶面形成。当用于铁电转换发射光刻时，本发明的铁电发射体允许电子从掩模层的宽或窄间隙中和从诸如环行的隔离图形中发射，同时，在热电电子发射中易于重新还原。
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公开(公告)号：CN1210620A
公开(公告)日：1999-03-10
申请号：CN97192198.9
申请日：1997-12-10
Applicant: 电灯专利信托有限公司
CPC classification number: B82Y10/00 , H01J1/312 , H01J61/545 , H01J2201/306
Abstract: 放电灯的,尤其是借助一种介电阻挡放电运行的放电灯(6)的冷阴极(1),具有两个导电的、相互面对着的电极,在这两个电极之间,夹层式地设置有一个铁电体,至少电极之一具有一个或多个开孔。在运行时,在两个电极上施加一个具有快速变换极性的电压。通过这种方法,在铁电体的表面释放出电子,这些电子在放电灯的运行电压作用下,穿过开孔向着灯的阳极(8)被加速,并且于起动及维持灯(6)的放电。
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公开(公告)号：CN1722356A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510078809.7
申请日：2005-05-17
Applicant: 国立大学法人名古屋大学
Inventor： 森田慎三
CPC classification number: H01J1/30 , H01J2201/306
Abstract: 梳状电极形成在铁电薄膜的主表面上，以及平面电极形成在铁电薄膜的背表面上。然后，铁电薄膜的主表面的性能被转变成半导电性。然后，在给定的气氛中设置包括铁电薄膜、梳状电极和平面电极的组合体。在该环境下，对梳状电极施加负电压以极化铁电薄膜，并对平面电极施加负脉冲电压，由此从铁电薄膜的主表面产生电子束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1118860C
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN97192198.9
申请日：1997-12-10
Applicant: 电灯专利信托有限公司
CPC classification number: B82Y10/00 , H01J1/312 , H01J61/545 , H01J2201/306
Abstract: 放电灯的，尤其是借助一种介电阻挡放电运行的放电灯(6)的冷阴极(1)，具有两个导电的、相互面对着的电极，在这两个电极之间，夹层式地设置有一个铁电体，至少电极之一具有一个或多个开孔。在运行时，在两个电极上施加一个具有快速变换极性的电压。通过这种方法，在铁电体的表面释放出电子，这些电子在放电灯的运行电压作用下，穿过开孔向着灯的阳极(8)被加速，并用于起动及维持灯(6)的放电。
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公开(公告)号：CN1164120A
公开(公告)日：1997-11-05
申请号：CN96123989.1
申请日：1996-12-28
Applicant: 三星电管株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , H01J1/312 , H01J29/04 , H01J2201/306
Abstract: 本发明提供了一种阴极，它包括：基体；在基体上所形成的下部电极层；阴极层，它是在下部电极层上形成的，使用了一种铁电发射体；上部电极层，它是在铁电阴极层上形成的，它有可以从其表面发射电子的区域；以及一个激励电极层，它是在上部电极层上形成的，用于控制从上部电极层电子发射区发射电子。
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公开(公告)号：CN101006544A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200580028474.6
申请日：2005-08-02
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J31/127 , H01J1/316 , H01J2201/306
Abstract: PED包括在后基板内表面(4a)上形成为矩阵形式的信号线(18a，18b)和扫描线(18c，18d)，并且PZT膜(24)用作各个交点处的电子发射元件。通过在元件电极(21，22)之间施加电压，各个PZT膜(24)发射具有依赖于PZT膜(24)形状的横截面形状的电子束。
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公开(公告)号：CN1104020C
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：CN96123989.1
申请日：1996-12-28
Applicant: 三星电管株式会社
CPC classification number: B82Y10/00 , H01J1/312 , H01J29/04 , H01J2201/306
Abstract: 本发明提供了一种阴极，它包括：基体；在基体上所形成的下部电极层；阴极层，它是在下部电极层上形成的，使用了一种铁电发射体；上部电极层，它是在铁电阴极层上形成的，它有可以从其表面发射电子的区域；以及一个激励电极层，它是在上部电极层上形成的，用于控制从上部电极层电子发射区发射电子。
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公开(公告)号：CN1344001A
公开(公告)日：2002-04-10
申请号：CN01122404.5
申请日：2001-07-05
Applicant: 三星电子株式会社 , 弗吉尼亚技术知识资产公司
Inventor： 柳仁暻
IPC: H01J1/30
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/312 , H01J37/073 , H01J37/3174 , H01J2201/306
Abstract: 在半导体光刻工艺中使用的铁电多层发射体包括下电极,具有顶表面和两个端部分并覆盖在下电极上的铁电层,在除铁电层顶面两个端部分之外的区域上形成的插入电极,具有侧部和具有两个端部分的顶面的介电层,其具有预定图形并沿着铁电层的顶面和插入电极形成,在铁电层对面的介电层一侧上形成的假上电极。本发明的铁电发射体保证电子从掩模层的宽和窄空隙中和在诸如环行的隔离图形中均匀发射,用于铁电转换发射光刻。
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