公开(公告)号：WO2013150562A1

公开(公告)日：2013-10-10

申请号：PCT/JP2012/002282

申请日：2012-04-02

Applicant: パイオニア株式会社 ,  パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 ,  吉成 正樹 ,  大塚 正志

Inventor： 吉成　正樹 ,  大塚　正志

IPC: H01J1/304 ,  H01J31/26

CPC classification number: H01J3/021 ,  H01J31/127 ,  H01J2203/0208 ,  H01J2203/0248 ,  H01J2203/026

Abstract: 　本発明は、電子放出層から放出された電子ビームを十分に且つ効率良く絞り込むことができる電子放出素子アレイおよびこれを備えた撮像装置を提供することを課題としている。　上記の課題の解決手段として、電子放出素子アレイは、表面に複数のエミッションサイトを有する電子放出部と、電子放出部の上方に配設した電界機能部と、を備え、電界機能部は、各エミッションサイトに対応して設けられ、複数のエミッションサイトから放出された電子ビームを個々に集束させる個別集束電極層と、複数のエミッションサイトに対応して設けられ、複数のエミッションサイトから放出された電子ビームを一括して集束させる一括集束電極層と、を有している。

Abstract translation: 本发明解决了提供以下问题：电子发射器阵列，其能够充分且有效地会聚从电子发射层发射的电子束; 以及设置有电子发射器阵列的成像装置。 作为解决上述问题的手段，该电子发射器阵列具有：在表面上具有多个发射部位的电子发射部; 以及布置在电子发射部分上方的电场功能部分。 电场功能部分包括：分离的聚焦电极层，其被布置为对应于各个发射部位，以便分开地会聚从多个发射部位发射的电子束; 以及集中聚焦电极层，其被布置为对应于所述多个发射部位，以便共同地会聚从所述多个发射部位发射的所有电子束。