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公开(公告)号：CN1332950A
公开(公告)日：2002-01-23
申请号：CN99815306.0
申请日：1999-12-10
Applicant: 东京电子株式会社
IPC: H05H1/00
CPC classification number: H01J37/32834 , H01J41/12 , H01J41/18 , H05H1/54
Abstract: 用于将离子从第一区域泵送到第二区域的等离子体泵和方法,该泵包括:一分隔件,该分隔件有限定了多个管道(30)的通孔;一组磁体(24),以便提供延伸到管道的磁力;以及多个电势源(14),该电势源(14)用于产生使离子从管道向第二区域加速的静电场。
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公开(公告)号：CN104934276A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510195210.5
申请日：2015-02-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
Inventor： S·廷
CPC classification number: F04B37/14 , F04B19/006 , F04B35/04 , H01J41/18 , H01J41/20 , H05K13/00 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明涉及基于薄膜边缘场发射极的微离子泵。提供了一种微离子泵。该微离子泵包括多个薄膜边缘场发射极、第一门电极、第二门电极和高压阳极。该多个薄膜边缘场发射极位于第一X-Z平面中。该多个薄膜边缘场发射极具有在至少一个Y-Z平面中的具有高纵横比的相应的多个端面。第一门电极处于第二X-Z平面，该第二X-Z平面与第一X-Z平面偏离。第二门电极放置在第三X-Z平面，该第三X-Z平面与第一X-Z平面偏离。高压阳极处于第四X-Z平面，该第四X-Z平面与在第一X-Z平面中的多个薄膜边缘场发射极偏离。第二门电极位于高压阳极和多个薄膜边缘场发射极之间。
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公开(公告)号：CN100369178C
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200380100242.8
申请日：2003-11-25
Applicant: 瓦里安有限公司
CPC classification number: H01J41/18
Abstract: 一种离子泵包括一个或多个阳极泵室、接近所述一个或多个阳极泵室放置的阴极和用于在所述一个或多个阳极泵室中产生磁场的磁组件。在所述阴极和所述一个或多个阳极泵室之间施加有电场。磁组件包括被布置在所述阳极泵室的相对端部上的极性相反的初级磁体以及被布置在所述阳极泵室的相对侧面上的次级磁体。所述磁组件还可以包括提供磁通返回路径的磁轭。磁组件在所述一个或多个阳极泵室中产生基本一致的轴向磁场。
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公开(公告)号：CN1708822A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200380100242.8
申请日：2003-11-25
Applicant: 瓦里安有限公司
CPC classification number: H01J41/18
Abstract: 一种离子泵包括一个或多个阳极泵室、接近所述一个或多个阳极泵室放置的阴极和用于在所述一个或多个阳极泵室中产生磁场的磁组件。在所述阴极和所述一个或多个阳极泵室之间施加有电场。磁组件包括被布置在所述阳极泵室的相对端部上的极性相反的初级磁体以及被布置在所述阳极泵室的相对侧面上的次级磁体。所述磁组件还可以包括提供磁通返回路径的磁轭。磁组件在所述一个或多个阳极泵室中产生基本一致的轴向磁场。
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公开(公告)号：CN1169409C
公开(公告)日：2004-09-29
申请号：CN99815306.0
申请日：1999-12-10
Applicant: 东京电子株式会社
IPC: H05H1/00
CPC classification number: H01J37/32834 , H01J41/12 , H01J41/18 , H05H1/54
Abstract: 用于将离子从第一区域泵送到第二区域的等离子体泵和方法，该泵包括：一分隔件，该分隔件有限定了多个管道(30)的通孔；一组磁体(24)，以便提供延伸到管道的磁力；以及多个电势源(14)，该电势源(14)用于产生使离子从管道向第二区域加速的静电场。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN105047516A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510195320.1
申请日：2015-04-23
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
Abstract: 一种离子泵包括：至少一个电子源，其配置成将电子发射到离子泵中；至少一个阴极，其定位成从至少一个电子源越过离子泵；高压栅格，其定位在至少一个电子源和至少一个阴极之间。高压栅格配置成将电子吸引到至少一个电子源和至少一个阴极之间，在这里，电子与气体分子碰撞，造成气体分子电离。至少一个阴极配置成将电离的气体分子朝至少一个阴极吸引，使得电离的气体分子由至少一个阴极捕集或被捕集在所述至少一个阴极附近。
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公开(公告)号：CN1366706A
公开(公告)日：2002-08-28
申请号：CN01800923.9
申请日：2001-03-13
Applicant: 爱发科股份有限公司
Inventor： 沈国华
CPC classification number: H01J41/18 , H01J27/08 , H01J2237/1825
Abstract: 本发明提供一种泵构造简单且重量轻、中心轴附近的磁在径向及轴向上都为零、泵的到达压高的离子溅射泵。本离子溅射泵,其真空容器壁筒状部分的横截面形状作成凹凸形状,在该凹凸横截面形状筒状部分的外侧各凹部中朝着同一个磁极方向地分别设置具有同一形状、同一特性的永久磁铁,在该凹凸横截面形状筒状部分的内侧各凹部与真空容器壁离开地分别设置筒状的阳极,将真空容器壁的筒状部分作为阴极,在真空容器内,使周围上开有排气孔的筒状磁屏蔽部件与上述多个永久磁铁及多个阳极同心状地配置,并且分别轴对称、等间距地排列上述这些多个永久磁铁及多个阳极。
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公开(公告)号：US20180233338A1
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：US15948465
申请日：2018-04-09
Applicant: ColdQuanta, Inc.
Inventor： Steven Michael Hughes
Abstract: An ultra-high vacuum (UHV) system includes a UHV cell and an ion pump to maintain the UHV in the UHV cell. The ion pump has a GCC (glass, ceramic, or crystalline) housing. An interior wall of the ion-pump housing serves as an anode or bears a coating that serves as an anode. At least one cathode is disposed with respect to the housing so that it can cooperate with the anode to form an electric field for establishing a Penning trap. The GCC housing defines a flow channel that extends radially through the anode so that a molecule can flow directly into the most ionizing region of a Penning trap.
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公开(公告)号：US20070205359A1
公开(公告)日：2007-09-06
申请号：US11365415
申请日：2006-03-01
Applicant: Ulrich Bonne
Inventor： Ulrich Bonne
IPC: H01J49/00
CPC classification number: H01J41/18
Abstract: A method and apparatus are provided for pumping gas. The method includes the steps of providing an orifice with an entry diameter that is substantially larger than an exit diameter, imposing a non-uniform electric field between the entry and exit of the orifice and pumping permanent and field induced molecular dipoles through the orifice using the non-uniform electric field wherein the dipoles drift towards a direction of higher field strength within the non-uniform, time-dependent and multi-phase electric field.
Abstract translation: 提供了一种用于泵送气体的方法和装置。 该方法包括以下步骤：提供具有基本上大于出口直径的入口直径的孔，在孔的入口和出口之间施加不均匀的电场，并且通过孔使泵送永久和场诱导的分子偶极子 非均匀电场，其中偶极子在非均匀，时间依赖和多相电场内向较高场强的方向漂移。
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