公开(公告)号：CN101593658A

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200910145359.7

申请日：2009-05-26

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亨斯特拉

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J3/027 ,  H01J3/04 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子－电子相互作用。

公开(公告)号：CN107993909A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201711317954.5

申请日：2017-12-12

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 井内裕

IPC: H01J3/04 ,  H01J3/12

CPC classification number: H01J3/04 ,  H01J3/12

Abstract: 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。

公开(公告)号：CN101728208A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200810119974.6

申请日：2008-10-20

Applicant: 同方威视技术股份有限公司 ,  清华大学

Inventor： 彭华 ,  张清军 ,  林津 ,  李元景 ,  陈志强 ,  毛绍基 ,  代主得 ,  曹士娉 ,  张仲夏 ,  张阳天 ,  林德旭 ,  王清华

IPC: H01J49/34 ,  H01J49/40 ,  G01N27/64

CPC classification number: H01J3/04 ,  H01J49/004 ,  H01J49/061

Abstract: 公开了一种双极性IMS的离子门和方法，该离子门包括：离子源；第一门电极，设置在离子源的一侧；第二门电极，设置在离子源的另一侧；第三门电极，设置在第一门电极的远离离子源的那侧；第四门电极，设置在第二门电极的远离离子源的那侧；其中，在离子存储阶段，第一门电极在轴上相应位置的电位与离子源的电位和第三门电极的电位存在差异；第二门电极的电位与离子源的电位和第四门电极的电位存在差异。根据本发明，样品气体进入离子门后，在第一门电极和第二门电极之间与反应离子进行电荷交换，正负离子在电场的作用下，源源不断地被存储到相应的离子滞留区中，提高了离子的利用效率。采用简单地对组合电极进行控制的方法，将离子滞留区中的离子分步引出。

公开(公告)号：CN107808810A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201710805474.7

申请日：2017-09-08

Applicant: 爱德华兹真空泵有限责任公司

Inventor： A.怀诺拉德 ,  J.兰格伯格

IPC: H01J3/04

CPC classification number: H01J41/12 ,  H01J41/18 ,  H01J3/04

Abstract: 一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。

公开(公告)号：CN101593658B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200910145359.7

申请日：2009-05-26

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亨斯特拉

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J3/027 ,  H01J3/04 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子-电子相互作用。

公开(公告)号：CN102576187A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080046103.1

申请日：2010-10-12

Applicant: 希乐克公司

Inventor： M·梅多夫

IPC: G03C1/00 ,  G03C5/00

CPC classification number: G06K5/02 ,  B32B29/002 ,  B32B2262/0276 ,  B32B2554/00 ,  C08B15/00 ,  C08J7/123 ,  C12M45/00 ,  C12M45/06 ,  C12P19/00 ,  D21H21/48 ,  D21H25/04 ,  G01N33/346 ,  G01N2223/1013 ,  G01N2223/102 ,  G03C11/02 ,  G06K5/00 ,  G21K5/00 ,  H01J3/02 ,  H01J3/04

Abstract: 提供了标记纸产品的方法和标记纸产品。一些方法包括照射纸产品以改变纸的官能化。

公开(公告)号：CN108428607A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201711494189.4

申请日：2017-12-31

Applicant: 宁波大学 ,  宁波华仪宁创智能科技有限公司

Inventor： 洪欢欢 ,  闻路红 ,  赵鹏 ,  陈瑞强 ,  宁录胜

IPC: H01J3/04

CPC classification number: H01J3/04

Abstract: 本发明提供了一种具有控温功能的离子源及其工作方法，所述离子源包括高压电极；气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。本发明具有结构简单、升温快、降温快等优点。

公开(公告)号：CN107910237A

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201711106175.0

申请日：2017-11-10

Applicant: 中国人民解放军陆军防化学院 ,  苏州微木智能系统有限公司

Inventor： 左国民 ,  杜正 ,  汪小知 ,  王学峰 ,  高适 ,  李鹏 ,  张荣 ,  张立功 ,  杨金星 ,  郭辉

IPC: H01J3/04

CPC classification number: H01J3/04

Abstract: 本发明提供一种大气压辉光放电离子源，包括第一螺旋电极和第二螺旋电极。所述第一螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极与所述第一螺旋电极共面且平行间隔设置。在螺旋状的放电电极之间设置细长连贯的放电沟道，减小了两放电电极之间的间隙。在不增大整体面积的情况下尽量的增大了样品电离的面积，从而使通过的样品流量增加，提高了电离效率。

公开(公告)号：CN106218261A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201610586389.1

申请日：2010-10-12

Applicant: 希乐克公司

Inventor： M·梅多夫

IPC: B42D25/30 ,  B42D25/41

CPC classification number: G06K5/02 ,  B32B29/002 ,  B32B2262/0276 ,  B32B2554/00 ,  C08B15/00 ,  C08J7/123 ,  C12M45/00 ,  C12M45/06 ,  C12P19/00 ,  D21H21/48 ,  D21H25/04 ,  G01N33/346 ,  G01N2223/1013 ,  G01N2223/102 ,  G03C11/02 ,  G06K5/00 ,  G21K5/00 ,  H01J3/02 ,  H01J3/04

Abstract: 提供了标记纸产品的方法和标记纸产品。一些方法包括照射纸产品以改变纸的官能化。

公开(公告)号：CN105977116A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610176800.8

申请日：2016-03-23

Applicant: 中国科学院等离子体物理研究所

Inventor： 谢亚红 ,  顾玉明 ,  胡纯栋 ,  谢远来 ,  宋云涛

IPC: H01J3/04

CPC classification number: H01J3/04

Abstract: 本发明公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，离子源头部外壳固定在头部连接座上，头部连接座内设有头部外壳冷却水管。本发明装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且具有自冷却功能的要求，且结构简单安装方便。