公开(公告)号：WO2021255113A1

公开(公告)日：2021-12-23

申请号：PCT/EP2021/066280

申请日：2021-06-16

Applicant: INSTRUMENT SYSTEMS OPTISCHE MESSTECHNIK GMBH

Inventor： MÜNCHOW, Frank ,  GRABHER, Stephanie ,  FINGER, Martin

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G02B3/00 ,  G02B27/28 ,  G01M11/02 ,  H01S5/42 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0429 ,  G01J1/0488 ,  G01J2001/4247 ,  G01J2001/448 ,  G01J2004/005 ,  G02B27/285 ,  G02B3/0056 ,  G02B5/201

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Messsystem für die polarisationsunabhängige Vermessung einer Lichtquelle, mit einer eine Vielzahl von matrixförmig angeordneten Bildsensoren (12) aufweisenden Kamera (5) und einer Mikroskopoptik (M) sowie ein Verfahren zur polarisationsunabhängigen Vermessung der Lichtquellen. Es ist Ziel der Erfindung, eine verbesserte und einfache sowie weitestgehend polarisationsunabhängige Messung der Lichtleistung der Lichtquelle unter Erhaltung der Ortsauflösung im mikroskopischen Bereich zu ermöglichen. Hierzu schlägt die Erfindung vor, dass den Bildsensoren (12) jeweils ein linearer Polarisator (13) zugeordnet ist, wobei die linearen Polarisatoren (13) matrixförmig vor den Bildsensoren (12) angeordnet sind und zwei oder mehr, vorzugsweise vier Polarisatoren (13) einen Matrixblock (13a) bilden, wobei die Durchlassrichtungen nebeneinanderliegender linearer Polarisatoren (13) innerhalb eines Matrixblocks (13a) relativ zueinander verdreht sind, vorzugsweise um 45° oder um 90°. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden die Messsignale der Bildsensoren (12), die den Polarisatoren (13) desselben Matrixblocks (13a) zugeordnet sind, in Lichtleistungsmesswerte umgewandelt, um die gewünschte Polarisationsunabhängigkeit zu erhalten.