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公开(公告)号：CN100462670C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN03128478.7
申请日：2003-04-28
Applicant: 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明涉及一种光接收/发射复合单元、其制造方法以及位移探测装置，其中的位移探测装置具有良好的时间稳定性，并且适于减小尺寸和重量，包括：光源，用于发射光束；偏振分束单元，用于将从光源发出的光束分解成具有不同偏振成分的两束光束，将这两束光束射向一外部光学系统，并将从该外部光学系统反射的两束光束加以组合以产生组合光束；相位板，设置在光源与偏振分束单元之间，用以改变从光源发出光束的偏振状态并将该光束射向偏振分束单元；分束薄膜，用于将由偏振分束单元产生的组合光束分解成多个光束；偏振单元，用于仅透射所分解组合光束的预定偏振成分；和光接收元件，用于对透过偏振单元的相干光束进行光电转换，从而产生一干涉信号。
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公开(公告)号：CN1460174A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN02800904.5
申请日：2002-02-01
Applicant: 索尼公司 , 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明是光发射接收复合单元(1)，通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6－1至6－4)的光接收部(6)进行封装，形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET，配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部；使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b)；接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b)；以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b)，构成了光栅干涉型位移检测装置。
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公开(公告)号：CN1104627C
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN98102919.1
申请日：1998-05-27
Applicant: 索尼精密技术株式会社
IPC: G01D11/02
CPC classification number: G01D11/02
Abstract: 标尺装置1有一个基座元件2，基座元件2包括一个长条状壳体3，其中有长条薄板形标尺4装配成中部悬空，标尺装置1还有可相对基座元件2滑动的滑动元件10。滑动元件10上有用于测量薄板形标尺4磁性刻度显示的传感器。参照滑动构件16用于保持传感器15与薄板形标尺4的磁性刻度的显示表面间距离恒定。按压滑动构件17用于按压参照滑动构件使磁性刻度显示表面与参照滑动构件16的表面持续接触。探头元件14能沿标尺的宽度方向相对标尺作可伸缩移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1253698C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN02800904.5
申请日：2002-02-01
Applicant: 索尼公司 , 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明是光发射接收复合单元(1)，通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6_1至6_4)的光接收部(6)进行封装，形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET，配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部；使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b)；接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b)；以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b)，构成了光栅干涉型位移检测装置。
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公开(公告)号：CN1205930A
公开(公告)日：1999-01-27
申请号：CN98102919.1
申请日：1998-05-27
Applicant: 索尼精密技术株式会社
IPC: B23Q17/00
CPC classification number: G01D11/02
Abstract: 标尺装置1有一个基座元件2,基座元件2包括一个长条状壳体3,其中有长条薄板形标尺4装配成中部悬空,标尺装置1还有可相对基座元件2滑动的滑动元件10。滑动元件10上有用于测量薄板形标尺4磁性刻度显示的传感器。参照滑动构件16用于保持传感器15与薄板形标尺4的磁性刻度的显示表面间距离恒定。按压滑动构件17用于按压参照滑动构件使磁性刻度显示表面与参照滑动构件16的表面持续接触。探头元件14能沿标尺的宽度方向相对标尺作可伸缩移动。
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公开(公告)号：CN1379459A
公开(公告)日：2002-11-13
申请号：CN02102090.6
申请日：2002-01-22
Applicant: 索尼株式会社 , 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01N21/956
Abstract: 以不接触方式自动客观地评估多晶硅薄膜状态的多晶硅薄膜评估装置包括可移动的工作台,其上面设置承载多晶硅薄膜的基片;用可见光观察的光学系统,对多晶硅薄膜的表面图像拍照,以实现自动聚焦;用紫外光观察的光学系统,用于获得多晶硅薄膜的表面图像,利用用可见光观察的光学系统进行自动聚焦;以及评估单元,从表面图像评估该多晶硅薄膜表面空间结构的线性和周期性,以根据该线性和周期性的评估结果来评估该多晶硅薄膜的状态。
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公开(公告)号：CN1215543C
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN02102090.6
申请日：2002-01-22
Applicant: 索尼株式会社 , 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01N21/956
Abstract: 以不接触方式自动客观地评估多晶硅薄膜状态的多晶硅薄膜评估装置包括可移动的工作台，其上面设置承载多晶硅薄膜的基片；用可见光观察的光学系统，对多晶硅薄膜的表面图像拍照，以实现自动聚焦；用紫外光观察的光学系统，用于获得多晶硅薄膜的表面图像，利用用可见光观察的光学系统进行自动聚焦；以及控制器，从表面图像评估该多晶硅薄膜表面空间结构的线性和周期性，以根据该线性和周期性的评估结果来评估该多晶硅薄膜的状态。
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公开(公告)号：CN1453557A
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN03128478.7
申请日：2003-04-28
Applicant: 索尼精密技术株式会社
CPC classification number: G01D5/38
Abstract: 本发明涉及一种光接收/发射复合单元、其制造方法以及位移探测装置，其中的位移探测装置具有良好的时间稳定性，并且适于减小尺寸和重量，包括：光源，用于发射光束；偏振分束单元，用于将从光源发出的光束分解成具有不同偏振成分的两束光束，将这两束光束射向一外部光学系统，并将从该外部光学系统反射的两束光束加以组合以产生组合光束；相位板，设置在光源与偏振分束单元之间，用以改变从光源发出光束的偏振状态并将该光束射向偏振分束单元；分束薄膜，用于将由偏振分束单元产生的组合光束分解成多个光束；偏振单元，用于仅透射所分解组合光束的预定偏振成分；和光接收元件，用于对透过偏振单元的相干光束进行光电转换，从而产生一干涉信号。
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