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公开(公告)号：CN102339771B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201110291629.2
申请日：2011-09-30
Applicant: 中南大学
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L2224/78 , H01L2224/78301 , H01L2924/00014 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明公开了一种具有双焊线头的微电子芯片引线键合装置。该引线键合装置包括两套相同的焊线头，通过手工调节置于焊线头底座下部开槽处上的联接螺栓在槽上的位置，两个焊线头之间的相对位置及间距可以进行调整和改变。在一个共用的控制器程序的协调控制作用下，每个焊线头可独立焊线或同步焊线，引线键合效率比只有单焊线头的键合机提高了。每个焊线头包括线夹驱动送线系统、打火杆支座、变幅杆、劈刀、变幅杆夹持座、变幅杆支座、焊线头转轴、转轴支承轴承、轴支撑架、电机支座、直线电机、直线编码器、视觉系统、焊线头支持架。每个焊线头通过联接螺栓固结于焊线头支座上。本发明通过在一台键合机上配置具有两个甚至多个焊线头所形成的引线键合装置，针对不同的工件，通过调整和编程进行分工协作，共同完成芯片与基板间的引线互联焊线任务，芯片键合效率可成倍提高。
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公开(公告)号：CN102339771A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110291629.2
申请日：2011-09-30
Applicant: 中南大学
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L2224/78 , H01L2224/78301 , H01L2924/00014 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明公开了一种具有双焊线头的微电子芯片引线键合装置。该引线键合装置包括两套相同的焊线头，通过手工调节置于焊线头底座下部开槽处上的紧固螺栓在槽上的位置，两个焊线头之间的相对位置及间距可以进行调整和改变。在一个共用的控制器程序的协调控制作用下，每个焊线头可独立焊线或同步焊线，引线键合效率比只有单焊线头的键合机提高一倍，每个焊线头通过联接螺栓固结于焊线头支座上。本发明通过在一台键合机上配置具有两个甚至多个焊线头所形成的引线键合装置，针对不同的工件，通过调整和编程进行分工协作，共同完成芯片与基板间的引线互联焊线任务，芯片键合效率可成倍提高。
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公开(公告)号：CN102501224B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201110291618.4
申请日：2011-09-30
Applicant: 中南大学
IPC: B25H1/00
Abstract: 本发明公开了一种具有两维较大行程的平面型磁浮直线运动平台装置。该装置的每个电磁轴承由两个差动式驱动电磁铁组成，控制线圈中电流可使磁浮直线运动平台的磁浮工作台在电磁力作用下稳定悬浮，与支座及直线驱动系统间无机械接触；磁浮工作台与直线电机驱动单元相互独立，两个水平面上相互垂直的直线电机依靠相应的侧向导向用电磁轴承的非接触电磁力作用推动磁浮工作台作平面型两维直线运动。其中磁浮工作台的两个水平方向直线导向及驱动机构结构完全相同，每个机构均由两个电磁轴承和两个机械滚动轴承组成。两导向机构无耦合关系。当平台高加速度运动时，刚性滚动轴承辅助导向及保护电磁轴承，而在稳定状态及需要比较小的驱动力时，电磁轴承可以直接驱动磁浮工作台并保持磁浮无接触导向。
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公开(公告)号：CN102501224A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110291618.4
申请日：2011-09-30
Applicant: 中南大学
IPC: B25H1/00
Abstract: 本发明公开了一种具有两维较大行程的平面型磁浮直线运动平台装置。该装置的每个电磁轴承由两个差动式驱动电磁铁组成，控制线圈中电流可使磁悬浮工作平台在电磁力作用下稳定悬浮，与支承座及直线驱动系统间无机械接触；平台与直线电机驱动单元相互独立，两个水平面上相互垂直的直线电机依靠侧向导向悬浮电磁铁的非接触电磁力作用推动磁浮平台作平面型两维直线运动。其中磁浮平台的两个侧向直线导向及驱动机构结构完全相同，每个导向机构均由两个电磁轴承和机械滚动轴承组成。两导向无耦合关系，当平台高加速度运动时，刚性滚动轴承辅助导向及驱动磁悬浮工作平台，而在稳定状态及需要比较小的驱动力时，柔性电磁轴承可以直接驱动磁悬浮工作平台。
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