公开(公告)号：CN113299671B

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202110265605.3

申请日：2021-03-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 叶振华 ,  王进东 ,  叶文成 ,  廖清君 ,  崔爱梁 ,  张伟婷 ,  丁瑞军 ,  何力

IPC: H01L27/144 ,  G01J5/10

Abstract: 本发明公开了一种原位集成超表面相控阵列的红外彩色焦平面探测器，通过在红外单色焦平面探测器衬底上原位集成超表面相控阵列，使宽谱段的红外光在透过超表面相控阵列后发生折射，折射角与光的波长一一对应，然后入射到红外单色焦平面探测器对应的亚像元位置，第一亚像元、第二亚像元、第三亚像元分别接收到不同信号，超像素单元输出单元信号，利用图像合成方法得到彩色图像。该探测器具有信号串扰小、结构简单、集成度高，利用超表面相控阵列和红外单色焦平面探测器生成红外彩色图像的优点。

公开(公告)号：CN113654664A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110930651.0

申请日：2021-08-13

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 叶振华 ,  王进东 ,  叶文成 ,  廖清君 ,  丁瑞军 ,  何力

IPC: G01J5/00 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种光谱分离与全透复合的超像素红外探测器，在平面结构红外探测芯片的衬底上制备具有光谱分离功能的波段分束阵列，入射的宽谱红外光透过红外波段分束阵列表面微纳结构区域后发生光谱分离，不同波长红外光分别照射至超像素的第一亚像元、第二亚像元和第三亚像元。经过红外波段分束阵列无表面微纳结构区域的全透红外光照射至超像素的第四亚像元。四个亚像元分别输出信号，利用图像合成得到红外彩色图像，同时利用图像增强融合技术获得目标更丰富的细节信息。该探测器具有探测波段丰富、信号利用率高、微型化，利用红外波长分束阵列与平面结构红外探测芯片构建超像素红外探测器的优点。

公开(公告)号：CN113299671A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202110265605.3

申请日：2021-03-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 叶振华 ,  王进东 ,  叶文成 ,  廖清君 ,  崔爱梁 ,  张伟婷 ,  丁瑞军 ,  何力

IPC: H01L27/144 ,  G01J5/10

Abstract: 本发明公开了一种原位集成超表面相控阵列的红外彩色焦平面探测器，通过在红外单色焦平面探测器衬底上原位集成超表面相控阵列，使宽谱段的红外光在透过超表面相控阵列后发生折射，折射角与光的波长一一对应，然后入射到红外单色焦平面探测器对应的亚像元位置，第一亚像元、第二亚像元、第三亚像元分别接收到不同信号，超像素单元输出单元信号，利用图像合成方法得到彩色图像。该探测器具有信号串扰小、结构简单、集成度高，利用超表面相控阵列和红外单色焦平面探测器生成红外彩色图像的优点。

公开(公告)号：CN113654664B

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202110930651.0

申请日：2021-08-13

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 叶振华 ,  王进东 ,  叶文成 ,  廖清君 ,  丁瑞军 ,  何力

IPC: G01J5/48 ,  G01J5/10 ,  G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种光谱分离与全透复合的超像素红外探测器，在平面结构红外探测芯片的衬底上制备具有光谱分离功能的波段分束阵列，入射的宽谱红外光透过红外波段分束阵列表面微纳结构区域后发生光谱分离，不同波长红外光分别照射至超像素的第一亚像元、第二亚像元和第三亚像元。经过红外波段分束阵列无表面微纳结构区域的全透红外光照射至超像素的第四亚像元。四个亚像元分别输出信号，利用图像合成得到红外彩色图像，同时利用图像增强融合技术获得目标更丰富的细节信息。该探测器具有探测波段丰富、信号利用率高、微型化，利用红外波长分束阵列与平面结构红外探测芯片构建超像素红外探测器的优点。