负型感光性树脂组合物、图案结构和图案固化膜的制造方法

    公开(公告)号:CN115244465A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202180018686.5

    申请日:2021-03-11

    Abstract: 提供:基于聚硅氧烷的、新的感光性树脂组合物、即负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物含有:(A)包含通式(1)所示的第一结构单元的聚硅氧烷化合物;(B)光诱导性固化促进剂;(C)溶剂。[(Rx)bR1mSiOn/2] (1)(通式(1)中,Rx为通式(1a)所示的一价基团,R1为选自由氢原子、碳数1以上且3以下的烷基、苯基、羟基、碳数1以上且3以下的烷氧基和碳数1以上且3以下的氟烷基组成的组中的取代基,b为1以上且3以下的数,m为0以上且低于3的数,n超过0且为3以下的数,为b+m+n=4,Rx、R1有多个时各自独立地地选择取代基中的任意者,通式(1a)中,X为氢原子,a为1以上且5以下的数,虚线表示原子键。)

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