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公开(公告)号：CN114585630A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202080073947.9
申请日：2020-10-21
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 本发明为一种由下述通式(x)表示的硅化合物。另外，本发明为一种包含由下述通式(x)表示的硅化合物的反应性材料。通式(x)中，R1为多个的情况下，分别独立地为碳数1～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烷基、碳数2～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烯基，烷基或烯基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，R2为多个的情况下，分别独立地为碳数1～4的直链状或碳数3～4的支链状的烷基，烷基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，RA为酸不稳定性基团，a为1～3的整数，b为0～2的整数，c为1～3的整数，a+b+c＝4，n为1～5的整数。
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公开(公告)号：CN116034127B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202180054622.0
申请日：2021-09-02
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G77/24
Abstract: 提供一种聚合反应速度快、具有良好贮藏稳定性的聚硅氧烷。或者，提供包含该聚硅氧烷的混合物、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜或图案固化膜。或者，提供包含该聚硅氧烷的混合物、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜或图案固化膜的制造方法。提供一种混合物，其包含下述通式(X)所示的第一含硅单体和下述通式(Y)所示的第二含硅单体。将A设为第一含硅单体的含量，且将B定义为第二含硅单体的含量时，满足B/(A+B)>0.04的关系。
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3.发明公开公开(公告)号：CN116601244A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180081882.7
申请日：2021-12-15
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C09D7/61
Abstract: 本发明的课题在于，提供在涂布液中稳定分散有金属细颗粒、金属化合物的光学构件用涂布液、感光性涂布液、可用于光学构件用涂布液的聚合物、使用了光学构件用涂布液的固化膜、感光性涂布液、图案固化膜、光学构件、固体摄像元件、显示装置、聚硅氧烷化合物、涂布液中使用的稳定剂。或者，本发明的课题在于，提供涂布液中使用的稳定剂的制造方法或者光学特性优异的固化膜、图案固化膜或聚合物的制造方法。光学构件用涂布液包含成分(A)、稳定剂(B)和溶剂(C)，所述成分(A)是金属细颗粒(A‑1)和/或包含下述通式(1‑A)所示结构单元的金属化合物(A‑2)，所述稳定剂(B)含有包含下述通式(1)所示结构单元的聚硅氧烷化合物。[(R1)bMOc/2] (1‑A)；[(R2)d(R3)e(OR4)fSiOg/2] (1)。
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公开(公告)号：CN116601210A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180081688.9
申请日：2021-12-15
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G77/58
Abstract: 本发明的课题是提供一种树脂组合物，其为包含聚合物的均匀液，所述聚合物即便导入EUV吸光度高的金属种类，在溶胶凝胶反应中也不会发生析出，所述聚合物是进行水解/缩聚而得到的。树脂组合物包含具有(A下述通式(1)所示结构单元和(B)下述通式(1‑A)所示结构单元的聚合物。通式(1)中，R2为下述通式(1a)所示的基团。[(R2)d(R3)e(OR4)fSiOg/2] (1)；[(R1)bMOc/2] (1‑A)；
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公开(公告)号：CN113166548A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980071895.9
申请日：2019-10-28
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 一种聚硅氧烷组合物，其包含：含有式(1)所示的结构单元且含有式(2)和式(3)中的至少一个结构单元的聚硅氧烷化合物；和，溶剂。[(Rx)bR1mSiOn/2](1)[(Ry)cR2pSiOq/2](2)[SiO4/2](3)此处，Rx为式(1a)所示的一价的基团(X为氢原子或酸不稳定性基团，a为1～5的整数，虚线表示原子键)，Ry为包含环氧基、氧杂环丁烷基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基中的任意者的碳数1～30的一价的有机基团。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102186890B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200980140890.3
申请日：2009-10-08
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/38 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C303/32 , C07C309/12 , C07C309/20 , C07C381/12 , C08F220/24 , C08F220/38 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/30 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , C08F220/28
Abstract: 本发明提供下述通式(2)所示的聚合性含氟磺酸鎓盐及将其聚合而成的聚合物。通过使用本发明的该磺酸盐树脂，能够调制分辨率优异、景深范围(DOF)宽、线边缘粗糙度(“LER”)小、而且灵敏度高的抗蚀剂组合物。(式中，Z表示取代或非取代的碳原子数1～6的直链或支链的亚烷基、或者该亚烷基与从脂环式烃或芳香族烃中脱离二个氢原子而得到的二价基团串联结合而得到的二价基团。R表示氢原子、卤素原子或者碳原子数1～3的烷基或含氟烷基。Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子)。
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公开(公告)号：CN102186890A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200980140890.3
申请日：2009-10-08
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08F20/38 , C07C303/32 , C07C309/12 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C303/32 , C07C309/12 , C07C309/20 , C07C381/12 , C08F220/24 , C08F220/38 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/30 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , C08F220/28
Abstract: 本发明提供下述通式(2)所示的聚合性含氟磺酸鎓盐及将其聚合而成的聚合物。通过使用本发明的该磺酸盐树脂，能够调制分辨率优异、景深范围(DOF)宽、线边缘粗糙度(“LER”)小、而且灵敏度高的抗蚀剂组合物。(式中，Z表示取代或非取代的碳原子数1～6的直链或支链的亚烷基、或者该亚烷基与从脂环式烃或芳香族烃中脱离二个氢原子而得到的二价基团串联结合而得到的二价基团。R表示氢原子、卤素原子或者碳原子数1～3的烷基或含氟烷基。Q+表示锍阳离子或碘鎓阳离子。)
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公开(公告)号：CN116034127A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202180054622.0
申请日：2021-09-02
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C08G77/24
Abstract: 提供一种聚合反应速度快、具有良好贮藏稳定性的聚硅氧烷。或者，提供包含该聚硅氧烷的混合物、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜或图案固化膜。或者，提供包含该聚硅氧烷的混合物、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜或图案固化膜的制造方法。提供一种混合物，其包含下述通式(X)所示的第一含硅单体和下述通式(Y)所示的第二含硅单体。将A设为第一含硅单体的含量，且将B定义为第二含硅单体的含量时，满足B/(A+B)>0.04的关系。
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公开(公告)号：CN115244466A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180019261.6
申请日：2021-02-17
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: G03F7/11 , C08G77/24 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L21/027
Abstract: 一种组合物，其包含聚硅氧烷化合物(A)和溶剂(B)，所述聚硅氧烷化合物(A)包含式(1)所示的结构单元和式(2)所示的结构单元，全部Si结构单元中的用Q单元/(Q单元+T单元)表示的硅氧烷结构单元比为0.60以上且小于1.00。[(R1)b(R2)m(OR3)lSiOn/2](1)。式中，R1为下式所示的基团。[(R4)pSiOq/2](2)。
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