正型感光性树脂组合物、使用了它的膜的制造方法以及电子部件

    公开(公告)号:CN105706000B

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201480060038.6

    申请日:2014-10-24

    Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物至少包含:(A)至少包含通式(1)表示的结构单元的聚硅氧烷化合物、(B)光产酸剂或醌二叠氮化合物、以及(C)溶剂。[式中,RX为下述式表示的基团,R1各自独立地为氢原子、碳数1以上且3以下的烷基、苯基、羟基、碳数1以上且3以下的烷氧基或碳数1以上且3以下的氟代烷基,b为1~3的整数、m为0~2的整数、n为1~3的整数,且b+m+n=4。(X各自独立地表示氢原子或酸不稳定性基团,a为1~5的整数。)]通过该正型感光性树脂组合物的使用,能够提供具有高耐热性和耐热透明性的膜以及具有该膜的电子部件。[(RX)bR1mSiOn/2] (1)

Patent Agency Ranking