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公开(公告)号：CN101199923B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200710149666.3
申请日：2007-09-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: B01J19/12 , B08B7/00 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L21/304 , G21K5/00
Abstract: 本发明要解决的问题是提供一种准分子光照射装置，在利用准分子光清洁液晶面板用玻璃基板等的清洁装置中，可以进行高效的清洁，能够无偏差地清洁大型基板。本发明的准分子光照射装置在并列配置有多根准分子灯的灯壳内具有喷出至少包括氮气等不活泼气体的气体的喷气管，具有由该喷气管和该准分子灯上表面部分及该灯壳的间隔壁包围而成的第一置换空间、以及由该喷气管和该准分子灯下表面部分及搬运的基板包围而成的第二置换空间，通过从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体，形成该第一置换空间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113751086A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110622032.5
申请日：2021-06-04
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种能够降低观察面的高度的偏差的微流体器件。具备：板，在内部形成有流路；以及保持体，保持所述板，所述保持体具有：第一保持部件，与所述板的第一主面的至少外周缘抵接；第二保持部件，与所述第一主面的相反侧的所述板的第二主面的至少外周缘抵接；以及固定部件，在将所述板夹在所述第一保持部件与所述第二保持部件之间的状态下，固定所述第一保持部件与所述第二保持部件。
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公开(公告)号：CN103128080A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210482539.6
申请日：2012-11-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种光照射装置，抑制空气流入至处理对象基板与灯之间，所以可对处理对象基板以高效率来照射光。一种光照射装置，具备：灯罩，内置有朝向沿着基板传送路径传送的处理对象基板的一面照射光的准分子灯；和气体供给单元，对上述处理对象基板与上述准分子灯之间供给惰性气体，在上述基板传送路径上的上述灯罩的上游侧，与该灯罩相邻地形成有压力缓冲空间，上述光照射装置的特征在于，在基板传送路径上的压力缓冲空间的上游侧设置有空气排出单元，该空气排出单元排出沿着处理对象基板的被光照射的一面流动的空气。
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公开(公告)号：CN103128080B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201210482539.6
申请日：2012-11-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种光照射装置，抑制空气流入至处理对象基板与灯之间，所以可对处理对象基板以高效率来照射光。一种光照射装置，具备：灯罩，内置有朝向沿着基板传送路径传送的处理对象基板的一面照射光的准分子灯；和气体供给单元，对上述处理对象基板与上述准分子灯之间供给惰性气体，在上述基板传送路径上的上述灯罩的上游侧，与该灯罩相邻地形成有压力缓冲空间，上述光照射装置的特征在于，在基板传送路径上的压力缓冲空间的上游侧设置有空气排出单元，该空气排出单元排出沿着处理对象基板的被光照射的一面流动的空气。
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公开(公告)号：CN101199923A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200710149666.3
申请日：2007-09-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: B01J19/12 , B08B7/00 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L21/304 , G21K5/00
Abstract: 本发明要解决的问题是提供一种准分子光照射装置，在利用准分子光清洁液晶面板用玻璃基板等的清洁装置中，可以进行高效的清洁，能够无偏差地清洁大型基板。本发明的准分子光照射装置在并列配置有多根准分子灯的灯壳内具有喷出至少包括氮气等不活泼气体的气体的喷气管，具有由该喷气管和该准分子灯上表面部分及该灯壳的间隔壁包围而成的第一置换空间、以及由该喷气管和该准分子灯下表面部分及搬运的基板包围而成的第二置换空间，通过从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体，形成该第一置换空间。
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