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公开(公告)号：CN104296874B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201410341209.4
申请日：2014-07-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 木村淳治
IPC: G01J4/00 , G02F1/1337
Abstract: 一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法，能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向，在方向精度方面，能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W)，在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W)照射偏振光时，在照射面(R)配置偏振方向检测器(40)并检测偏振光的偏振轴的方向。偏振方向检测器(40)所具备的检偏振器(42)由检偏振器校准器(6)预先被定位，旋转原点相对于装置基准方向成为规定的角度。基于由偏振方向检测器(40)检测到的偏振方向，求出偏振轴的偏离量，通过偏振元件调整机构(7)对偏振元件(121)的姿势进行调整，以消除偏离量。
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公开(公告)号：CN105867029B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201510958689.3
申请日：2015-12-18
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02F1/13
Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。
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公开(公告)号：CN106997125B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201610865517.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 木村淳治
IPC: G02F1/1337
Abstract: 本发明提供光照射装置以及光照射方法，在最佳的定时监视是否对于对象物照射有适当量的光，根据监视结果对光源进行适当控制。上侧保持了对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)向X方向移动，在通过照射区域时工件(W)受到光照射。工作台(2)的侧面(21)上安装的照度计的测定值向控制器(7)发送，控制器(7)所具备的点亮控制单元(73)对测定值进行累计而计算光量，并与设定为光量的光基准值进行比较，以差分消失的方式将控制指令信号向光源(11)的点亮电源(110)发送。
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公开(公告)号：CN107102480A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201610867790.2
申请日：2016-09-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 木村淳治
IPC: G02F1/1337 , G01J1/42
CPC classification number: G02F1/133788 , G01J1/42 , G01J2001/4247
Abstract: 本发明提供一种光照射装置，在具有对由光源的劣化等引起的照度降低进行监视的功能时，在机构不变得复杂，且不对生产率产生影响。在上侧保持对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)在X方向上移动，在通过有效照射区域时工件(W)接受光照射。在工作台(2)的侧面(21)上安装有照度计，与工作台(2)一体地移动而通过有效照射区域。照度计(6)的测定值向控制器(7)输送，控制器(7)所具备的光量计算单元(71)对光量进行计算而存储于存储部(72)。
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公开(公告)号：CN108535918A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810163701.5
申请日：2018-02-27
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 木村淳治
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/133788
Abstract: 提供配置为多列的灯的更换较为容易的光照射装置。光照射装置具备：光源部，具有光源单元，在所述光源单元中，多个灯沿着光照射面排列而成的灯列沿该光照射面排列为多列，且向该光照射面的前方发出光，所述光源部将该光源单元的光对向横切所述多列的扫描方向移动的对象物进行照射；支承引导件，在包含对所述对象物照射光的照射位置、以及在所述扫描方向上离开该照射位置的待机位置的移动路径上，移动自如地支承所述光源部，伴随着该光源部从该照射位置至该待机位置的移动，使所述光照射面朝向移动方向的前方侧；以及移动机构，使被支承在所述待机位置的所述光源部的至少所述光源单元，保持由所述支承引导件支承的朝向地向横切所述多列的方向移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105867029A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201510958689.3
申请日：2015-12-18
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02F1/13
CPC classification number: G02F1/133788 , G02F1/1303
Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。
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公开(公告)号：CN107102480B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201610867790.2
申请日：2016-09-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 木村淳治
IPC: G02F1/1337 , G01J1/42
Abstract: 本发明提供一种光照射装置，在具有对由光源的劣化等引起的照度降低进行监视的功能时，在机构不变得复杂，且不对生产率产生影响。在上侧保持对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)在X方向上移动，在通过有效照射区域时工件(W)接受光照射。在工作台(2)的侧面(21)上安装有照度计，与工作台(2)一体地移动而通过有效照射区域。照度计(6)的测定值向控制器(7)输送，控制器(7)所具备的光量计算单元(71)对光量进行计算而存储于存储部(72)。
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公开(公告)号：CN106997125A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201610865517.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 木村淳治
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: Y02B20/42 , G02F1/133788
Abstract: 本发明提供光照射装置以及光照射方法，在最佳的定时监视是否对于对象物照射有适当量的光，根据监视结果对光源进行适当控制。上侧保持了对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)向X方向移动，在通过照射区域时工件(W)受到光照射。工作台(2)的侧面(21)上安装的照度计的测定值向控制器(7)发送，控制器(7)所具备的点亮控制单元(73)对测定值进行累计而计算光量，并与设定为光量的光基准值进行比较，以差分消失的方式将控制指令信号向光源(11)的点亮电源(110)发送。
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公开(公告)号：CN105068321A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510486239.9
申请日：2015-08-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02F1/13
CPC classification number: G02F1/133788 , G02F1/1303
Abstract: 提供一种光照射装置以及光照射方法，在双工作台方式中使工作台彼此不会干涉而能够高效地进行光照射处理。光照射装置具备：载置第一工件，且能够在第一待机位置与照射区域之间进行往复移动的第一工作台；载置第二工件，且能够在第二待机位置与照射区域之间进行往复移动的第二工作台；以及对第一工作台以及第二工作台的移动独立地进行控制以便第一工件和第二工件交替地通过照射区域的控制部。此处，控制部以下述方式进行控制：各工作台在照射区域内以比最大移动速度慢的移动速度移动，在照射区域外的归路以最大移动速度移动，在照射区域外的去路以使得工作台间距离不会低于预先设定的最接近距离的移动速度移动。
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公开(公告)号：CN104296874A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410341209.4
申请日：2014-07-17
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 木村淳治
IPC: G01J4/00 , G02F1/1337
Abstract: 一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法，能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向，在方向精度方面，能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W)，在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W)照射偏振光时，在照射面(R)配置偏振方向检测器(40)并检测偏振光的偏振轴的方向。偏振方向检测器(40)所具备的检偏振器(42)由检偏振器校准器(6)预先被定位，旋转原点相对于装置基准方向成为规定的角度。基于由偏振方向检测器(40)检测到的偏振方向，求出偏振轴的偏离量，通过偏振元件调整机构(7)对偏振元件(121)的姿势进行调整，以消除偏离量。
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