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公开(公告)号：CN103959431B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280059471.9
申请日：2012-11-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
CPC classification number: H01J61/06 , C02F1/325 , C02F2201/3223 , C09K11/7777 , C09K11/778 , H01J5/54 , H01J7/183 , H01J61/26 , H01J61/34 , H01J61/42 , H01J61/44 , H01J61/92 , H01J65/04 , H01J65/046
Abstract: 本发明第一目的在于提供一种准分子灯，其在任何的使用环境中电极均不会产生腐蚀，能够得到高的安全性，并且通过对在形成有气密密封构造的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命。本发明的第一准分子灯具有封入有准分子发光用气体的石英玻璃制的发光管、和用于产生介质阻挡放电的一对电极，其特征在于，所述一对电极的一方的电极在所述发光管的内部空间以沿着发光管的管轴方向延伸的方式配置，所述一对电极的另一方的电极在所述发光管的管壁的内部以沿着发光管的管轴方向延伸的方式埋设，所述一方的电极与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
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公开(公告)号：CN104205288A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380016419.X
申请日：2013-02-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J61/35 , H01J61/025 , H01J61/44 , H01J65/046
Abstract: 本发明是一种紫外线放射荧光灯(1)，具有石英玻璃制成的发光管(2)及将UVC变换成UVA的荧光体，其特征在于，紫外线放射荧光灯是可以同时放射由灯的发光管(2)内的准分子发光生成的UVC与该UVC通过荧光体(11)变换的UVA的结构，在所述发光管内(2)面上形成所述荧光体(11)与对于UVC区域的光具有反射特性的反射体(12)混合的混合层(10)，在该混合层(10)形成开口(15)。
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公开(公告)号：CN101826442A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010123901.1
申请日：2010-03-02
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J65/046
Abstract: 提供一种稀有气体荧光灯，适用作将在300nm～350nm左右的波长区域具有宽广峰值的紫外线出射的将与液晶一起填充的单体聚合的光源。该稀有气体荧光体，具有设在发光管的外部的一对电极及设在发光管的内部的荧光体层，在发光管的内部封入有稀有气体，其特征在于，上述发光管由以硼硅酸玻璃及/或铝硅酸玻璃为主成分、且过渡性金属氧化物的含量为1～5wt％，碱金属氧化物的含量为1～5wt％的玻璃构成。
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公开(公告)号：CN101136307B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710148159.8
申请日：2007-08-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。
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公开(公告)号：CN101540264A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910126162.9
申请日：2009-03-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种在放电空间内发生准分子放电而放射真空紫外光的准分子灯，由熔融石英玻璃构成放电容器的一部分。该准分子灯(1)具有内侧管(4)与外侧管(3)配置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器(2)，在介设有形成该放电容器(2)的石英玻璃的状态下设置一对电极(5)、(6)，在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电容器(2)的放电空间(S)内发生准分子放电，其特征在于，内侧管(4)由熔融石英玻璃形成，外侧管(3)由合成石英玻璃形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1619780A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN200410094959.2
申请日：2004-11-19
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/302 , H01L21/3065 , C23C16/48 , C23C8/06
Abstract: 本发明是提供与以往的利用被激活的氧的处理不同的、抑制了对被处理物的氧化影响的处理装置。其目的在于提供一种利用真空紫外光的处理装置，该处理装置能够实现在使用被激活的氧进行的处理中无法得到充分的处理速度的处理，例如注入离子的抗蚀剂的灰 化/除去等。该处理装置，具备放射真空紫外光的光源、和具备该光源的放电容器及/或处理空间，并配置有导入气体的导入口，通过照射光激活该被导入的气体，其特征在于，该被激活性的气体是NmHn，其中，N为氮原子、H为氢原子、m、n为任意的自然数；具备将自上述光源放射的真空紫外光照射于该NmHn气体的机构。
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公开(公告)号：CN104303261B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380025232.6
申请日：2013-05-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
CPC classification number: H01J61/06 , H01J61/54 , H01J65/046
Abstract: 本发明提供一种准分子灯，由发光管(1)、外部电极(4)和内部电极(5)构成，发光管由在内部封入有发光气体的发光部(2)和在发光部的两端部形成的密封部(3)构成，外部电极配置在上述发光部的外表面上，内部电极配置在该发光部的内部，上述准分子灯的特征在于，上述外部电极的端部延伸并卷绕在上述发光部的密封部侧的根部上。由此，灯的启动性大幅改善，即使在灯电压低的情况下也能使灯可靠地启动。
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公开(公告)号：CN103959431A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280059471.9
申请日：2012-11-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H01J65/00
CPC classification number: H01J61/06 , C02F1/325 , C02F2201/3223 , C09K11/7777 , C09K11/778 , H01J5/54 , H01J7/183 , H01J61/26 , H01J61/34 , H01J61/42 , H01J61/44 , H01J61/92 , H01J65/04 , H01J65/046
Abstract: 本发明第一目的在于提供一种准分子灯，其在任何的使用环境中电极均不会产生腐蚀，能够得到高的安全性，并且通过对在形成有气密密封构造的发光管的端部产生破损进行抑制而能够得到较长的使用寿命。本发明的第一准分子灯具有封入有准分子发光用气体的石英玻璃制的发光管、和用于产生介质阻挡放电的一对电极，其特征在于，所述一对电极的一方的电极在所述发光管的内部空间以沿着发光管的管轴方向延伸的方式配置，所述一对电极的另一方的电极在所述发光管的管壁的内部以沿着发光管的管轴方向延伸的方式埋设，所述一方的电极与气密地埋设在发光管的端部的导电箔电连接。
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公开(公告)号：CN101540264B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN200910126162.9
申请日：2009-03-05
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种在放电空间内发生准分子放电而放射真空紫外光的准分子灯，由熔融石英玻璃构成放电容器的一部分。该准分子灯(1)具有内侧管(4)与外侧管(3)配置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器(2)，在介设有形成该放电容器(2)的石英玻璃的状态下设置一对电极(5)、(6)，在放电空间(S)内封入有氙气体，在放电容器(2)的放电空间(S)内发生准分子放电，其特征在于，内侧管(4)由熔融石英玻璃形成，外侧管(3)由合成石英玻璃形成。
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公开(公告)号：CN101131228A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710141093.X
申请日：2007-08-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: F21S2/00 , H01L21/00 , F21W131/403
Abstract: 提供一种准分子灯装置，可以适于应对基板的大型化，并且可以降低运转成本，可以切实地进行基板表面的处理。本发明涉及的准分子灯装置的特征在于包括：容纳准分子灯的灯罩；气体供给用配管，设置在灯罩内，位于与准分子灯平行且交互的位置，设有气体喷出口；以及气体供给单元，向气体供给用配管中导入含水蒸气的惰性气体，通过上述气体供给单元，绝对湿度控制为预定值的惰性气体被供给到上述气体供给用配管中。此外上述绝对湿度换算成重量绝对湿度为0.5～6.5g/kg。
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