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公开(公告)号：CN107849688A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680040289.7
申请日：2016-06-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明的目的在于提供能使盖构件的厚度变得均匀的背板的制造方法以及制造后的盖构件的厚度均匀的背板及包含这样的背板的溅射靶。通过本发明，可提供：背板的制造方法，所述制造方法包括将在单面具有使流体通过的槽的板状主体、与以覆盖该主体的槽的方式被配置于该主体上的板状的盖构件接合的步骤，并且，所述制造方法包括下述步骤：在将该主体与该盖构件接合而进行一体化后，使该主体与该盖构件的接合面成为上面，以在该盖构件的表面测定的高度的最大值与最小值之差小于0.5mm的方式将该主体固定，利用切削对该接合面的至少一部分进行加工；背板，其中盖构件的厚度的最大值与最小值之差为0.4mm以下；以及，溅射靶，其包含这样的背板。
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公开(公告)号：CN112805402A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201980065599.8
申请日：2019-11-15
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 课题为提供能够减小槽的位置偏移的背板的制造方法。本发明为包括将盖构件与在单面具有槽的板状的主体接合的背板的制造方法，槽包含沿长度方向延伸的至少2个第1部分，主体与盖构件的被接合区域包含沿长度方向延伸且与至少2个第1部分中相对的各2个侧面对应的至少4个第1被接合区域，至少4个第1被接合区域中的主体与盖构件的通过下述工序实施：(a)在与1个第1部分中的1个侧面对应的1个第1被接合区域中，将主体与盖构件接合；(b)在其余被接合区域中的与其他第1部分中的1个侧面对应的1个被接合区域中，将主体与盖构件接合；及(c)重复进行工序(b)。
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公开(公告)号：CN111217024A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201911163827.3
申请日：2019-11-22
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明涉及溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。本发明的目的在于提供能够以充分的真空状态将一端设置有凸缘部且另一端被密封的筒型溅射靶的外侧及内侧捆包的、溅射靶的捆包结构体。本发明的解决手段为溅射靶的捆包结构体，其具备：溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和包装材料，所述包装材料由片材构成，且以密合状态覆盖所述溅射靶的内表面及外表面，所述包装材料在所述溅射靶的两端侧具备密封部。
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公开(公告)号：CN111217024B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN201911163827.3
申请日：2019-11-22
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明涉及溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。本发明的目的在于提供能够以充分的真空状态将一端设置有凸缘部且另一端被密封的筒型溅射靶的外侧及内侧捆包的、溅射靶的捆包结构体。本发明的解决手段为溅射靶的捆包结构体，其具备：溅射靶，所述溅射靶具有筒部、在所述筒部的一端的开口部设置的凸缘部及在所述筒部的另一端的开口部设置的盖；和包装材料，所述包装材料由片材构成，且以密合状态覆盖所述溅射靶的内表面及外表面，所述包装材料在所述溅射靶的两端侧具备密封部。
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公开(公告)号：CN107849688B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201680040289.7
申请日：2016-06-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明的目的在于提供能使盖构件的厚度变得均匀的背板的制造方法以及制造后的盖构件的厚度均匀的背板及包含这样的背板的溅射靶。通过本发明，可提供：背板的制造方法，所述制造方法包括将在单面具有使流体通过的槽的板状主体、与以覆盖该主体的槽的方式被配置于该主体上的板状的盖构件接合的步骤，并且，所述制造方法包括下述步骤：在将该主体与该盖构件接合而进行一体化后，使该主体与该盖构件的接合面成为上面，以在该盖构件的表面测定的高度的最大值与最小值之差小于0.5mm的方式将该主体固定，利用切削对该接合面的至少一部分进行加工；背板，其中盖构件的厚度的最大值与最小值之差为0.4mm以下；以及，溅射靶，其包含这样的背板。
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