层叠膜
    1.
    发明公开
    层叠膜 审中-公开

    公开(公告)号:CN118721907A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410358204.6

    申请日:2024-03-27

    Abstract: 本发明涉及层叠膜。一种层叠膜,其为包含含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑1)和含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑2)的层叠膜,在该层叠膜的厚度方向的截面中,前述层(PI‑1)的利用扫描型探针显微镜测定的平均弹性模量(1)、与前述层(PI‑2)的利用扫描型探针显微镜测定的平均弹性模量(2)之差大于0.22GPa。

    层叠膜
    2.
    发明公开
    层叠膜 审中-公开

    公开(公告)号:CN118721906A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410358109.6

    申请日:2024-03-27

    Abstract: 本发明涉及层叠膜。层叠膜,其为包含含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑1)和含聚酰亚胺系树脂的层(PI‑2)的层叠膜,在该层叠膜的厚度方向的截面中,利用扫描型探针显微镜测定的层(PI‑1)及层(PI‑2)的平均弹性模量满足式(I)的关系。(E1r‑E1a)/(E2r‑E2a)≥1.00(I)。式(I)中,E1r表示悬臂探针的拉回过程中的层(PI‑1)的平均弹性模量,E1a表示悬臂探针的压入过程中的层(PI‑1)的平均弹性模量,E2r表示拉回过程中的层(PI‑2)的平均弹性模量,E2a表示压入过程中的层(PI‑2)的平均弹性模量,E1r‑E1a>0,E2r‑E2a>0。

    溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法

    公开(公告)号:CN116377401A

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN202310394114.8

    申请日:2020-01-30

    Abstract: 本发明涉及溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法。本发明的课题是提供靶材不易剥离的溅射靶。本发明的溅射靶具备:背板;和靶材,其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域,其中,所述靶材与所述背板之间的接合部位的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97%以上,在整个所述接合区域中,所述靶材与所述背板之间的不存在接合材料的部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的整面的面积而言为0.6%以下。

    溅射靶的制造方法及溅射靶

    公开(公告)号:CN109952389A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201880003495.X

    申请日:2018-09-21

    Abstract: 本发明的课题在于制造不易发生异常放电的溅射靶。本发明的解决手段为一种溅射靶的制造方法,其中,针对维氏硬度为100以下的、由金属构成的靶材的溅射面,使用号数相互不同的多种抛光材料,以从小号数至大号数的顺序进行多步抛光。

    模拟缺陷样品及其制造方法、超声波探伤测定条件的调整方法、靶原材料的检查方法、以及溅射靶的制造方法

    公开(公告)号:CN108603862A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201880000346.8

    申请日:2018-01-18

    Abstract: 本发明的模拟缺陷样品用于调整检查靶原材料的内部缺陷的超声波探伤测定条件,前述模拟缺陷样品具有包含第1面及与该第1面相对的第2面的基板,在前述基板上形成有从前述第1面侧起具有第1深度的沉头孔,并且,在前述沉头孔的底面的一部分形成有从前述沉头孔的底面起具有第2深度的平底孔,前述平底孔的当量圆直径φ小于0.3mm时,前述平底孔的当量圆直径φ相对于前述平底孔的第2深度d的比例φ/d为0.08以上且小于0.40,前述平底孔的当量圆直径φ为0.3mm以上且小于0.4mm时,前述比例φ/d为0.1以上且小于0.60,前述平底孔的当量圆直径φ为0.4mm以上时,前述比例φ/d为0.11以上且小于1.60。

    圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶

    公开(公告)号:CN108603282A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201780009419.5

    申请日:2017-02-02

    Abstract: 本发明的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序:将靶材料加工成圆筒形状的工序;在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序;和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认,而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。

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