半导体基板、绝缘栅极型场效应晶体管以及半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN103069553B

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201180041352.6

    申请日:2011-08-30

    Inventor: 福原升

    Abstract: 本发明提供一种半导体基板,其具有基底基板、第1结晶层、第2结晶层以及绝缘层,基底基板、第1结晶层、第2结晶层以及绝缘层依照基底基板、第1结晶层、第2结晶层、绝缘层的顺序设置,第1结晶层和第2结晶层之间或基底基板和第1结晶层之间还具有第3结晶层,所述第2结晶层包含与构成所述第1结晶层的结晶晶格匹配或准晶格匹配,并且禁带幅宽比构成所述第1结晶层的结晶还大的结晶;所述第3结晶层包含与构成所述第1结晶层的结晶晶格匹配或准晶格匹配,并且禁带幅宽比构成所述第1结晶层的结晶还大的结晶;所述第3结晶层包含成为施体或受体的第1原子,在所述第3结晶层包含成为施体的第1原子时,所述第2结晶层包含成为受体的第2原子,在所述第3结晶层包含成为受体的第1原子时,所述第2结晶层包含成为施体的第2原子。第1结晶层可以作为场效应晶体管中的通道层使用,绝缘层可以作为场效应晶体管中的栅极绝缘层使用。

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