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公开(公告)号:CN103098188A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201180040410.3
申请日:2011-08-30
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor: 福原升
IPC: H01L21/338 , H01L21/205 , H01L29/778 , H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/812
CPC classification number: H01L29/778 , H01L29/1029 , H01L29/201 , H01L29/205 , H01L29/36 , H01L29/51 , H01L29/517 , H01L29/66462 , H01L29/7785
Abstract: 本发明提供一种半导体基板,其具有基底基板、第一结晶层、及绝缘层,基底基板、第一结晶层、及绝缘层的位置顺序为基底基板、第一结晶层、绝缘层;第一结晶层是由可准晶格匹配于GaAs或AlGaAs的InxGa1-xAs(0.35≤x≤0.43)构成。第一结晶层是可适用于场效电子晶体管的沟道层,绝缘层是可适用于场效电子晶体管的栅极绝缘层。
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公开(公告)号:CN102057489A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN200980121674.4
申请日:2009-08-11
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L29/78606 , H01L29/78696
Abstract: 本发明提供一种使活性层中使用金属氧化物的晶体管的阈值电压稳定的半导体装置,其包括第一金属氧化物层、薄膜电阻的值比所述第一金属氧化物大的第二金属氧化物层、与所述第一金属氧化物层电耦合的一对输入输出电极、和控制所述一对输入输出电极之间的阻抗的控制电极,并按照所述控制电极、所述第一金属氧化物层、所述第二金属氧化物层的顺序被配置。
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公开(公告)号:CN102239549B
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN200980148632.X
申请日:2009-11-27
Applicant: 住友化学株式会社 , 国立大学法人东京大学 , 独立行政法人产业技术综合研究所 , 独立行政法人物质·材料研究机构
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/94
CPC classification number: H01L29/045 , H01L29/20 , H01L29/7833 , H01L29/78681
Abstract: 本发明公开一种半导体装置,包含具有闪锌矿型的结晶结构的3-5族化合物半导体;与3-5族化合物半导体的(111)面、(111)面的等效的面,或,具有从(111)面或(111)面的等效的面倾斜的倾斜角的面接触的绝缘性材料;和与绝缘性材料接触且含有金属传导性材料的MIS型电极。
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公开(公告)号:CN102239549A
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN200980148632.X
申请日:2009-11-27
Applicant: 住友化学株式会社 , 国立大学法人东京大学 , 独立行政法人产业技术综合研究所 , 独立行政法人物质·材料研究机构
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/94
CPC classification number: H01L29/045 , H01L29/20 , H01L29/7833 , H01L29/78681
Abstract: 本发明公开一种半导体装置,包含具有闪锌矿型的结晶结构的3-5族化合物半导体;与3-5族化合物半导体的(111)面、(111)面的等效的面,或,具有从(111)面或(111)面的等效的面倾斜的倾斜角的面接触的绝缘性材料;和与绝缘性材料接触且含有金属传导性材料的MIS型电极。
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公开(公告)号:CN102084412A
公开(公告)日:2011-06-01
申请号:CN200980126164.6
申请日:2009-07-16
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G09F9/30 , G02F1/1368 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC classification number: H01L27/3276 , G02F1/136286 , G02F2201/40 , G02F2203/01
Abstract: 本发明是提供一种有源矩阵基板、显示面板、显示装置及有源矩阵基板的制造方法。有源矩阵基板(101A)具有透明基板(10)、形成在透明基板上的透明布线(LG、LD、LP、L1、L2等)、覆盖透明布线的至少一部分的透明半导体层(44)、覆盖布线及透明半导体层(44)的至少一部分的透明绝缘膜(40、50)。布线包括在行列方向上以相互交叉的方式延伸的主布线(41的一部分等)、和从该主布线分支而与各像素(101a)中的元件连接的副布线(41的一部分、42、43等),这些布线利用例如ZTO或ITO等半导体材料来形成。
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公开(公告)号:CN103069553B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201180041352.6
申请日:2011-08-30
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor: 福原升
IPC: H01L21/338 , H01L29/778 , H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/812
CPC classification number: H01L29/778 , H01L21/02664 , H01L29/1029 , H01L29/201 , H01L29/205 , H01L29/36 , H01L29/517 , H01L29/66462 , H01L29/7785
Abstract: 本发明提供一种半导体基板,其具有基底基板、第1结晶层、第2结晶层以及绝缘层,基底基板、第1结晶层、第2结晶层以及绝缘层依照基底基板、第1结晶层、第2结晶层、绝缘层的顺序设置,第1结晶层和第2结晶层之间或基底基板和第1结晶层之间还具有第3结晶层,所述第2结晶层包含与构成所述第1结晶层的结晶晶格匹配或准晶格匹配,并且禁带幅宽比构成所述第1结晶层的结晶还大的结晶;所述第3结晶层包含与构成所述第1结晶层的结晶晶格匹配或准晶格匹配,并且禁带幅宽比构成所述第1结晶层的结晶还大的结晶;所述第3结晶层包含成为施体或受体的第1原子,在所述第3结晶层包含成为施体的第1原子时,所述第2结晶层包含成为受体的第2原子,在所述第3结晶层包含成为受体的第1原子时,所述第2结晶层包含成为施体的第2原子。第1结晶层可以作为场效应晶体管中的通道层使用,绝缘层可以作为场效应晶体管中的栅极绝缘层使用。
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公开(公告)号:CN103474354A
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN201310343762.7
申请日:2009-11-27
Applicant: 住友化学株式会社 , 国立大学法人东京大学 , 独立行政法人产业技术综合研究所 , 独立行政法人物质·材料研究机构
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/94
CPC classification number: H01L29/045 , H01L29/20 , H01L29/7833 , H01L29/78681
Abstract: 本发明公开一种半导体装置,包含具有闪锌矿型的结晶结构的3-5族化合物半导体;与3-5族化合物半导体的(111)面、(111)面的等效的面,或,具有从(111)面或(111)面的等效的面倾斜的倾斜角的面接触的绝缘性材料;和与绝缘性材料接触且含有金属传导性材料的MIS型电极。
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公开(公告)号:CN102484077A
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN201080038652.4
申请日:2010-09-06
Applicant: 住友化学株式会社 , 国立大学法人东京大学 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: H01L21/338 , H01L29/778 , H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/812
CPC classification number: H01L29/7786 , H01L21/26553 , H01L29/4966 , H01L29/517 , H01L29/66318 , H01L29/66522
Abstract: 本发明涉及场效应晶体管,其具有栅极绝缘层、与所述栅极绝缘层相接的第1半导体结晶层以及与第1半导体结晶层晶格匹配或准晶格匹配的第2半导体结晶层,所述栅极绝缘层、所述第1半导体结晶层及所述第2半导体结晶层按照栅极绝缘层、第1半导体结晶层、第2半导体结晶层的顺序配置,所述第1半导体结晶层是Inx1Ga1-x1Asy1P1-y1(0<x1≤1,0≤y1≤1),所述第2半导体结晶层是Inx2Ga1-x2Asy2P1-y2(0≤x2≤1,0≤y2≤1,y2≠y1),所述第1半导体结晶层的电子亲和力Ea1比所述第2半导体结晶层的电子亲和力Ea2小。
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公开(公告)号:CN101868857A
公开(公告)日:2010-10-20
申请号:CN200880116357.9
申请日:2008-11-12
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: H01L29/786 , C23C14/08 , H01L21/336 , H01L21/363
CPC classification number: C23C14/086 , C23C14/3414 , H01L21/02554 , H01L21/02565 , H01L21/02573 , H01L21/02581 , H01L21/02631 , H01L29/26 , H01L29/7869
Abstract: 本发明提供氧化物半导体材料和其制造方法、电子装置和场效应晶体管。氧化物半导体材料含有Zn、Sn和O,不含有In,且电子载流子浓度大于1×1015/cm3且小于1×1018/cm3。电子装置具有包含氧化物半导体材料的半导体层,和设置在上述半导体层上的电极。场效应晶体管具有包含氧化物半导体材料的半导体层、设置在上述半导体层中并相互隔开的源电极和漏电极、和门电极,所述门电极设置在可在位于上述源电极和上述漏电极之间的上述半导体层的区域施加偏置电位的位置。
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公开(公告)号:CN103474354B
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201310343762.7
申请日:2009-11-27
Applicant: 住友化学株式会社 , 国立大学法人东京大学 , 独立行政法人产业技术综合研究所 , 独立行政法人物质·材料研究机构
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/78 , H01L29/786 , H01L29/94
CPC classification number: H01L29/045 , H01L29/20 , H01L29/7833 , H01L29/78681
Abstract: 本发明公开一种半导体装置,包含具有闪锌矿型的结晶结构的3-5族化合物半导体;与3-5族化合物半导体的(111)面、(111)面的等效的面,或,具有从(111)面或(111)面的等效的面倾斜的倾斜角的面接触的绝缘性材料;和与绝缘性材料接触且含有金属传导性材料的MIS型电极。
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