公开(公告)号：CN101211113A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200710161112.5

申请日：2007-12-18

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 荒木香 ,  山口训史 ,  山本敏

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)由式(I)表示的盐、(B)由式(II)表示的盐和(C)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，其中在式(I)和(II)中的R21、Q1、Q2、Q3、A+和A’+与权利要求书和说明书中定义的相同。

公开(公告)号：CN101211113B

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN200710161112.5

申请日：2007-12-18

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 荒木香 ,  山口训史 ,  山本敏

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)由式(I)表示的盐、(B)由式(II)表示的盐和(C)树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，其中在式(I)和(II)中的R21、Q1、Q2、Q3、A+和A’+与权利要求书和说明书中定义的相同。A’+-O3S-Q3(II)。

公开(公告)号：CN101271272A

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200810085472.6

申请日：2008-03-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  高田佳幸 ,  荒木香

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/122

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)由式(I)表示的盐；(B)由式(II)表示的盐；以及(C)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，其中式(I)和(II)中的R21，Q1，Q2，A+，E和A'+具有在权利要求书和说明书中给出的定义。