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公开(公告)号：CN106274059A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610473940.1
申请日：2016-06-24
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: H01L21/02019 , B41J2/14145 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/162 , B41J2/1626
Abstract: 本发明涉及一种硅基板的加工方法和液体喷出头用基板的制造方法。进行以下步骤：未贯通孔形成步骤，用于将第二面的供给路径形成区域划分成与梁的形成位置相对应的第一区域、在第一区域的两侧与第一区域邻接的第二区域、以及不是第一区域和第二区域的第三区域，并且在第二区域和第三区域中形成多个未贯通孔；以及蚀刻步骤，用于从第二面对硅基板进行各向异性蚀刻，由此形成供给路径并在供给路径中形成梁。在未贯通孔形成步骤中，使得未贯通孔的间隔和深度至少之一在第二区域和第三区域中不同，由此控制在蚀刻步骤中要形成的梁的形状和尺寸。
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公开(公告)号：CN104169092B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201380012570.6
申请日：2013-02-26
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/2022 , B41J2/162 , B41J2/1626 , B41J2/1631
Abstract: 一种液体喷出头的制造方法，包括进行第一曝光以形成第一喷出口列的步骤和进行第二曝光以形成第二喷出口列的步骤，在第二喷出口列中，喷出口通过连接部与形成第一喷出口列的喷出口配置成列。在由第一喷出口列和第二喷出口列形成的喷出口列中，关于喷出口的中心之间的在喷出口的开口面上的喷出口配置方向上的距离，以如下方式形成喷出口：彼此相邻且在彼此之间具有连接部的两个喷出口的中心之间的距离比彼此相邻但在彼此之间不具有连接部的两个喷出口的中心之间的距离长。
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公开(公告)号：CN102673156B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210048283.8
申请日：2012-02-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/162 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2002/14475
Abstract: 液体喷射头及其制造方法。提供一种液体喷射头的制造方法，液体喷射头包括喷射口构件，喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，该方法包括：准备设置有树脂层的基板，其中树脂层含有光固化性树脂；执行第一曝光处理和第二曝光处理，其中第一曝光处理和第二曝光处理均是使树脂层进行曝光的曝光处理；以及在进行了第一曝光处理和第二曝光处理的树脂层中形成喷射口。喷射口的通过第一曝光处理所形成的侧壁相对于基板的倾斜角与喷射口的通过第二曝光处理所形成的侧壁相对于基板的倾斜角不同。
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公开(公告)号：CN104108241A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410147939.0
申请日：2014-04-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/01
CPC classification number: B41J2/145 , B41J2/1404 , B41J2/14145 , B41J2/1433
Abstract: 一种液体喷出头，其包括：基板，其具有：产生用于喷出液体的能量的能量产生元件；和用于将液体供给至所述能量产生元件的供给口；以及喷出口形成构件，其具有：多个喷出口，液体经由所述多个喷出口被喷出：和至少一个梁状突起，所述梁状突起在与所述供给口对应的位置处朝向所述基板突出并沿着所述喷出口的排列方向延伸，其中，所述梁状突起的在所述喷出口的所述排列方向上的中央部中的与所述喷出口的所述排列方向垂直的截面面积大于所述梁状突起的在所述排列方向上的两端部中的在与所述喷出口的所述排列方向垂直的方向上的截面面积。
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公开(公告)号：CN101992598B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201010260865.3
申请日：2010-08-20
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , H01L23/544 , H01L2223/54406 , H01L2223/54433 , H01L2223/54473 , H01L2924/0002 , Y10T29/49401 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种液体排出头以及用于制造液体排出头的方法，所述液体排出头包括基板和流动路径壁构件，所述流动路径壁构件设置在该基板上并且具有与用于排出液体的排出口连通的流动路径的壁，其中，所述流动路径壁构件设有不与所述流动路径连通的腔体，当沿着从所述排出口朝向所述基板的方向观察时，所述腔体具有字符的形状，并且所述字符与关于所述液体排出头的信息相对应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102673156A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210048283.8
申请日：2012-02-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/162 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2002/14475
Abstract: 液体喷射头及其制造方法。提供一种液体喷射头的制造方法，液体喷射头包括喷射口构件，喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，该方法包括：准备设置有树脂层的基板，其中树脂层含有光固化性树脂；执行第一曝光处理和第二曝光处理，其中第一曝光处理和第二曝光处理均是使树脂层进行曝光的曝光处理；以及在进行了第一曝光处理和第二曝光处理的树脂层中形成喷射口。喷射口的通过第一曝光处理所形成的侧壁相对于基板的倾斜角与喷射口的通过第二曝光处理所形成的侧壁相对于基板的倾斜角不同。
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公开(公告)号：CN101497268B
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN200910001994.8
申请日：2009-02-01
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/14024 , B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B41J2/1645
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、其制造方法及结构体的形成方法。一种液体喷射头，其包括：涂覆树脂层，该涂覆树脂层包括用于喷射液体的多个喷出口和分别与所述喷出口流体连通的流路；用于产生喷射液体用能量的能量产生元件；以及粘合改善层，该粘合改善层设置在所述涂覆树脂层和所述基板之间，其中，所述涂覆树脂层还包括至少一个第二树脂材料层和最靠近所述基板的第一树脂材料层，所述第一树脂材料层形成从所述第二树脂材料层的周缘连续的至少一个台阶部。
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公开(公告)号：CN101497268A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200910001994.8
申请日：2009-02-01
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/14024 , B41J2/1603 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B41J2/1645
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、其制造方法及结构体的形成方法。一种液体喷射头，其包括：涂覆树脂层，该涂覆树脂层包括用于喷射液体的多个喷出口和分别与所述喷出口流体连通的流路；用于产生喷射液体用能量的能量产生元件；以及粘合改善层，该粘合改善层设置在所述涂覆树脂层和所述基板之间，其中，所述涂覆树脂层还包括至少一个第二树脂材料层和最靠近所述基板的第一树脂材料层，所述第一树脂材料层形成从所述第二树脂材料层的周缘连续的至少一个台阶部。
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公开(公告)号：CN104108241B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410147939.0
申请日：2014-04-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/01
CPC classification number: B41J2/145 , B41J2/1404 , B41J2/14145 , B41J2/1433
Abstract: 一种液体喷出头，其包括：基板，其具有：产生用于喷出液体的能量的能量产生元件；和用于将液体供给至所述能量产生元件的供给口；以及喷出口形成构件，其具有：多个喷出口，液体经由所述多个喷出口被喷出：和至少一个梁状突起，所述梁状突起在与所述供给口对应的位置处朝向所述基板突出并沿着所述喷出口的排列方向延伸，其中，所述梁状突起的在所述喷出口的所述排列方向上的中央部中的与所述喷出口的所述排列方向垂直的截面面积大于所述梁状突起的在所述排列方向上的两端部中的在与所述喷出口的所述排列方向垂直的方向上的截面面积。
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公开(公告)号：CN1276296A
公开(公告)日：2000-12-13
申请号：CN00121642.2
申请日：2000-06-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/14048 , B41J2/1604 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/13 , Y10S29/016 , Y10T29/49083 , Y10T29/49401
Abstract: 一种制造液体排出头的方法,该液体排出头包括:排出口;壁件;基板;可移动部件;该方法具有下述步骤,制备设置有所述可移动部件的基板;在所述的可移动部件和所述的基板之间的间隙中填充液体的光固化树脂,采用旋涂工艺将所述的树脂涂到所述的基板上直到树脂覆盖住所述的可移动部件;将所述光固化树脂的除去包含至少所述的液体流动通道的那部分区域曝光,从而将对应于所述壁件的那部分硬化;将所述光硬化树脂的没有曝光部分去除,从而在所述的液体流动通道中形成所述的可移动部件。
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