液体排出头用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN102470674B

    公开(公告)日:2015-01-21

    申请号:CN201080034835.9

    申请日:2010-07-29

    Abstract: 本发明提供一种液体排出头用基板的制造方法,液体排出头用基板包括第一面、产生将液体排出到与第一面相反的第二面的能量用的能量产生元件以及用于将液体供给到能量产生元件的液体供给口。所述方法包括:制备硅基板,该硅基板在第一面具有蚀刻掩模层,蚀刻掩模层具有与将要形成液体供给口的部分对应的开口,并且该硅基板具有设置于开口内的第一凹部和设置于第二面的将要形成液体供给口的区域中的第二凹部,第一凹部和第二凹部通过基板的一部分而彼此分离;以及从第一面的开口起通过结晶各向异性蚀刻来对硅基板进行蚀刻以形成液体供给口。

    液体排出头用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101817257A

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN201010122999.9

    申请日:2010-02-25

    CPC classification number: B41J2/1629 B41J2/1603 B41J2/1631 B41J2/1634

    Abstract: 一种液体排出头用基板的制造方法,该基板是具有第一面和与第一面相反的第二面的硅基板,该制造方法包括如下步骤:在硅基板的第二面上提供如下的层:当暴露于硅的蚀刻剂时,该层具有比硅的蚀刻速率低的蚀刻速率;部分地去除该层,以使硅基板的第二面的一部分露出,其中,露出部分包围该层的至少一部分;以及使用硅的蚀刻剂对该层和硅基板的第二面的所述露出部分进行湿法蚀刻,以形成从硅基板的第二面延伸到第一面的液体供给口。

    液体排出头用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN101817257B

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201010122999.9

    申请日:2010-02-25

    CPC classification number: B41J2/1629 B41J2/1603 B41J2/1631 B41J2/1634

    Abstract: 一种液体排出头用基板的制造方法,该基板是具有第一面和与第一面相反的第二面的硅基板,该制造方法包括如下步骤:在硅基板的第二面上提供如下的层:当暴露于硅的蚀刻剂时,该层具有比硅的蚀刻速率低的蚀刻速率;部分地去除该层,以使硅基板的第二面的一部分露出,其中,露出部分包围该层的至少一部分;以及使用硅的蚀刻剂对该层和硅基板的第二面的所述露出部分进行湿法蚀刻,以形成从硅基板的第二面延伸到第一面的液体供给口。

    液体排出头用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN102470674A

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201080034835.9

    申请日:2010-07-29

    Abstract: 提供一种液体排出头用基板的制造方法,液体排出头用基板包括第一面、产生将液体排出到与第一面相反的第二面的能量用的能量产生元件以及用于将液体供给到能量产生元件的液体供给口。所述方法包括:制备硅基板,该硅基板在第一面具有蚀刻掩模层,蚀刻掩模层具有与将要形成液体供给口的部分对应的开口,并且该硅基板具有设置于开口内的第一凹部和设置于第二面的将要形成液体供给口的区域中的第二凹部,第一凹部和第二凹部通过基板的一部分而彼此分离;以及从第一面的开口起通过结晶各向异性蚀刻来对硅基板进行蚀刻以形成液体供给口。

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