公开(公告)号：CN106274059A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610473940.1

申请日：2016-06-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边诚 ,  田川义则 ,  村山裕之 ,  大宅修平 ,  真锅贵信

IPC: B41J2/16

CPC classification number: H01L21/02019 ,  B41J2/14145 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/162 ,  B41J2/1626

Abstract: 本发明涉及一种硅基板的加工方法和液体喷出头用基板的制造方法。进行以下步骤：未贯通孔形成步骤，用于将第二面的供给路径形成区域划分成与梁的形成位置相对应的第一区域、在第一区域的两侧与第一区域邻接的第二区域、以及不是第一区域和第二区域的第三区域，并且在第二区域和第三区域中形成多个未贯通孔；以及蚀刻步骤，用于从第二面对硅基板进行各向异性蚀刻，由此形成供给路径并在供给路径中形成梁。在未贯通孔形成步骤中，使得未贯通孔的间隔和深度至少之一在第二区域和第三区域中不同，由此控制在蚀刻步骤中要形成的梁的形状和尺寸。

公开(公告)号：CN102802957A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN200980159972.2

申请日：2009-06-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤井谦儿 ,  渡部正久 ,  大宅修平 ,  南圣子

IPC: B41J2/205 ,  B41J2/05

CPC classification number: B41J2/2103 ,  B41J2/1404 ,  B41J2/1433 ,  B41J2202/19

Abstract: 一种液体排出记录头，包括用于排出黑色墨和彩色墨的多个记录元件板，通过该液体排出记录头在不降低黑色墨的图像质量的情况下提高彩色墨的图像质量。液体排出记录头包括：第一记录元件板，该第一记录元件板包括用于排出液体的第一排出孔；第二记录元件板，该第二记录元件板包括第二排出孔，该第二排出孔比第一排出孔小；以及支承部件，该支承部件包括用于支承第一记录元件板和第二记录元件板的面。从支承部件的所述面到第二排出孔的距离比从支承部件的所述面到第一排出孔的距离长。

公开(公告)号：CN102802957B

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN200980159972.2

申请日：2009-06-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 藤井谦儿 ,  渡部正久 ,  大宅修平 ,  南圣子

IPC: B41J2/205 ,  B41J2/05

CPC classification number: B41J2/2103 ,  B41J2/1404 ,  B41J2/1433 ,  B41J2202/19

Abstract: 一种液体排出记录头，包括用于排出黑色墨和彩色墨的多个记录元件板，通过该液体排出记录头在不降低黑色墨的图像质量的情况下提高彩色墨的图像质量。液体排出记录头包括：第一记录元件板，该第一记录元件板包括用于排出液体的第一排出孔；第二记录元件板，该第二记录元件板包括第二排出孔，该第二排出孔比第一排出孔小；以及支承部件，该支承部件包括用于支承第一记录元件板和第二记录元件板的面。从支承部件的所述面到第二排出孔的距离比从支承部件的所述面到第一排出孔的距离长。

公开(公告)号：CN106274059B

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201610473940.1

申请日：2016-06-24

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边诚 ,  田川义则 ,  村山裕之 ,  大宅修平 ,  真锅贵信

IPC: B41J2/16

CPC classification number: H01L21/02019 ,  B41J2/14145 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1639

Abstract: 本发明涉及一种硅基板的加工方法和液体喷出头用基板的制造方法。进行以下步骤：未贯通孔形成步骤，用于将第二面的供给路径形成区域划分成与梁的形成位置相对应的第一区域、在第一区域的两侧与第一区域邻接的第二区域、以及不是第一区域和第二区域的第三区域，并且在第二区域和第三区域中形成多个未贯通孔；以及蚀刻步骤，用于从第二面对硅基板进行各向异性蚀刻，由此形成供给路径并在供给路径中形成梁。在未贯通孔形成步骤中，使得未贯通孔的间隔和深度至少之一在第二区域和第三区域中不同，由此控制在蚀刻步骤中要形成的梁的形状和尺寸。

公开(公告)号：CN105172371A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510262618.X

申请日：2015-05-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 渡边诚 ,  渡边启治 ,  大宅修平 ,  永田真吾

IPC: B41J2/01

CPC classification number: B41J2/1429 ,  B41J2/14016 ,  B41J2/1408 ,  B41J2/14088 ,  B41J2/1412 ,  B41J2/14129 ,  B41J2/1601 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2202/03

Abstract: 本发明公开一种液体排出头。所述液体排出头包括：基板；热电阻器层；以及侧壁部件，所述侧壁部件构成压力室的侧壁，并被配置为通过所述热电阻器层的所述热效应部使所述压力室的内部的液体起泡而从排出口中排出液体，其中，所述热效应部远离所述基板，在所述压力室的内部，所述热电阻器层的表面的至少一部分被覆盖层覆盖，并且所述覆盖层从所述压力室的内部延伸到与所述侧壁部件的所述侧壁接触的位置。