公开(公告)号：CN1317145A

公开(公告)日：2001-10-10

申请号：CN99810682.8

申请日：1999-09-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 武田俊彦 ,  神尾优 ,  山下真孝 ,  佐藤安栄 ,  织田仁 ,  山本敬介 ,  田村美树 ,  川崎秀司 ,  神代和浩

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 本发明提供一种易于小型化并容易操作的电子源制造装置。该电子源制造装置包括支撑具有导体(11)的基片(10)的支撑件、具有入口(15)和气体排出口(16)并覆盖基片(10)的表面的部分区域的容器(12)、连接到气体入口(15)以将气体输入到容器的进气装置(24)、连接到排气口以将容器的内部抽空的排气装置(26)以及给该导体施加电压的装置(32)。

公开(公告)号：CN1411018A

公开(公告)日：2003-04-16

申请号：CN02143804.8

申请日：2002-09-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 竹上毅 ,  河出一佐哲 ,  小口高弘 ,  神代和浩

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 一种电子源的制造方法，在激活工序中，多级地切换激活气体分压的设定值，而且，在切换设定值之后的预定时间的期间不施加补偿电压。或者，一边切换1条行布线或列布线，一边反复进行多次，而且，在切换1条行布线或列布线之后的预定时间的期间不施加所述补偿电压。由此，可以对全部电子发射元件进行均匀的激活处理。

公开(公告)号：CN1249765C

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN00106725.7

申请日：2000-02-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 田村美树 ,  大西敏一 ,  神代和浩

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 本发明提出了一种制造电子发射器件的方法，包括在一个衬底上形成彼此分开的一对电导体的工艺和活化工艺，活化工艺用于在此对电导体的至少一个上形成由碳或碳的化合物构成的膜，其中活化工艺是在具有不同气氛的多个容器内顺序进行的。

公开(公告)号：CN100343937C

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200410090449.8

申请日：2004-11-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鹤冈裕二 ,  岩田和夫 ,  神代和浩 ,  高山秀人 ,  瓮英一 ,  毛利孝志

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  C01B31/02 ,  H01L21/02 ,  H01L21/336

CPC classification number: B82Y10/00 ,  H01J1/304 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30469 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/892 ,  Y10S977/893

Abstract: 本发明提供一种通过将针状物置于形成在衬底中的凹槽内，在凹槽的纵向上容易地对准针状物的方法，以及一种包括对准的针状物的对准单元。

公开(公告)号：CN1267078A

公开(公告)日：2000-09-20

申请号：CN00106725.7

申请日：2000-02-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 田村美树 ,  大西敏一 ,  神代和浩

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 本发明提出了一种制造电子发射器件的方法,包括在一个衬底上形成彼此分开的一对电导体的工艺和活化工艺,活化工艺用于在此对电导体的至少一个上形成由碳或碳的化合物构成的膜,其中活化工艺是在具有不同气氛的多个容器内顺序进行的。

公开(公告)号：CN100377276C

公开(公告)日：2008-03-26

申请号：CN99810682.8

申请日：1999-09-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 武田俊彦 ,  神尾优 ,  山下真孝 ,  佐藤安栄 ,  织田仁 ,  山本敬介 ,  田村美树 ,  川崎秀司 ,  神代和浩

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 本发明提供一种易于小型化并容易操作的电子源制造装置。该电子源制造装置包括支撑具有导体(11)的基片(10)的支撑件、具有入口(15)和气体排出口(16)并覆盖基片(10)的表面的部分区域的容器(12)、连接到气体入口(15)以将气体输入到容器的进气装置(24)、连接到排气口以将容器的内部抽空的排气装置(26)以及给该导体施加电压的装置(32)。

公开(公告)号：CN1249767C

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN02143804.8

申请日：2002-09-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 竹上毅 ,  河出一佐哲 ,  小口高弘 ,  神代和浩

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/027

Abstract: 一种电子源的制造方法，在激活工序中，多级地切换激活气体分压的设定值，而且，在切换设定值之后的预定时间的期间不施加补偿电压。或者，一边切换1条行布线或列布线，一边反复进行多次，而且，在切换1条行布线或列布线之后的预定时间的期间不施加所述补偿电压。由此，可以对全部电子发射元件进行均匀的激活处理。

公开(公告)号：CN1619750A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN200410090449.8

申请日：2004-11-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鹤冈裕二 ,  岩田和夫 ,  神代和浩 ,  高山秀人 ,  瓮英一 ,  毛利孝志

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  C01B31/02 ,  H01L21/02 ,  H01L21/336

CPC classification number: B82Y10/00 ,  H01J1/304 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30469 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/892 ,  Y10S977/893

Abstract: 本发明提供一种通过将针状物置于形成在衬底中的凹槽内，在凹槽的纵向上容易地对准针状物的方法，以及一种包括对准的针状物的对准单元。

公开(公告)号：CN1147900C

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN00106503.3

申请日：2000-02-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 神代和浩 ,  大西敏一

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J1/316 ,  H01J9/027 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/00 ,  H01J2329/0489

Abstract: 一种制造电子发射器件的方法包括在基片上形成一对导体的步骤，所说导体彼此隔开，还包括在碳化合物气体的气氛中，在一对导体的至少一侧上淀积碳或碳化合物的激发工艺。激发工艺包括分两个或多个阶段的多个工艺，包括第一工艺和第二工艺。第一工艺在高于作为最后激发工艺的第二工艺的分压的碳化合物气氛中进行。

公开(公告)号：CN1269594A

公开(公告)日：2000-10-11

申请号：CN00106503.3

申请日：2000-02-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 神代和浩 ,  大西敏一

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J1/316 ,  H01J9/027 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/00 ,  H01J2329/0489

Abstract: 一种制造电子发射器件的方法包括在基片上形成一对导体的步骤,所说导体彼此隔开,还包括在碳化合物气体的气氛中,在一对导体的至少一侧上淀积碳或碳化合物的激发工艺。激发工艺包括分两个或多个阶段的多个工艺,包括第一工艺和第二工艺。第一工艺在高于作为最后激发工艺的第二工艺的分压的碳化合物气氛中进行。