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公开(公告)号：CN110561277B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201910483955.X
申请日：2019-06-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24C1/04
Abstract: 本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法，该方法包括将间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，在板材从基板表面凸出的状态下，将所述板材配置成与所述间隔件的外周侧面接触，并且对所述基板表面进行喷砂。
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公开(公告)号：CN108873599B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201810428812.4
申请日：2018-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围，并且将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，每个评价区域中的平坦度为至多3μm。从具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的石英玻璃衬底制备大尺寸光掩模。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108873599A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810428812.4
申请日：2018-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C19/00 , B24B1/00 , C03C3/06 , C03C2204/08 , G01B5/285 , G03F1/60 , G03F1/36
Abstract: 本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围，并且将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，每个评价区域中的平坦度为至多3μm。从具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的石英玻璃衬底制备大尺寸光掩模。
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公开(公告)号：CN107176794A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710134890.9
申请日：2017-03-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03B33/02 , B28D5/00 , C03C3/06 , C03C15/00 , C03C17/28 , C03C2201/02 , C03C2203/50 , C03C2218/114 , C03C2218/32 , G01B11/06 , G01N21/23 , C03C17/34 , B24B1/00 , C03B33/074 , C03C2217/70
Abstract: 通过提供合成石英玻璃块材，用在双折射测定波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该玻璃块材的两个相对表面，通过引导光从其经过而测定该玻璃块材的双折射，基于双折射测定和该基板的尺寸来确定切割厚度，和以确定的切割厚度将该玻璃块材切割，从而制备合成石英玻璃基板。
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公开(公告)号：CN107176794B
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN201710134890.9
申请日：2017-03-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 通过提供合成石英玻璃块材，用在双折射测定波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该玻璃块材的两个相对表面，通过引导光从其经过而测定该玻璃块材的双折射，基于双折射测定和该基板的尺寸来确定切割厚度，和以确定的切割厚度将该玻璃块材切割，从而制备合成石英玻璃基板。
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公开(公告)号：CN110561277A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910483955.X
申请日：2019-06-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24C1/04
Abstract: 本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法，该方法包括将间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，在板材从基板表面凸出的状态下，将所述板材配置成与所述间隔件的外周侧面接触，并且对所述基板表面进行喷砂。
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公开(公告)号：CN107775523A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710728808.5
申请日：2017-08-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24B37/30 , B24B37/04 , H01L21/304
CPC classification number: B24B29/00 , B24B1/00 , B24B7/07 , B24B23/02 , B24B37/16 , B24B37/30 , B24B37/04 , B24B37/042 , H01L21/304
Abstract: 提供了加工工具，其包括旋转轴(6)，安装在该轴上的抛光板(3)，连接到该抛光板(3)的可伸缩的弹性体片材(4)，连接到该弹性体片材(4)的磨研布(5)，和按压装置，其在多个位置以各自预定的不同压力按压该弹性体片材(4)从而该磨研布的下表面(5)依照在多个位置施加到该弹性体片材(4)的不同的按压力变形到期望的形状。基板通过使该磨研布的变形表面(5)与基板原料接触，和旋转并移动该加工工具以在选定面积抛光该基板来制造。
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