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公开(公告)号：CN110561277B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201910483955.X
申请日：2019-06-05
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24C1/04
Abstract: 本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法，该方法包括将间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，在板材从基板表面凸出的状态下，将所述板材配置成与所述间隔件的外周侧面接触，并且对所述基板表面进行喷砂。
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公开(公告)号：CN101006021B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200680000217.6
申请日：2006-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03C19/00 , H01L21/027 , G03F1/14
CPC classification number: G03F7/70791 , C03C19/00 , G02F2001/133302 , G03F1/60
Abstract: 通过将大型玻璃基板材料加工(1)基于基板材料在垂直姿态下的高度数据的整平去除量加上变形修正去除量，来制备用于形成光掩模基板的大型玻璃基板。变形修正去除量是从以下量计算的：(2)基板材料在水平姿态下由于其自身重量而产生的弯曲；(3)由于夹紧在曝光设备中引起的光掩模基板的变形；以及(4)用于支撑母玻璃的台板的精度失真。
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公开(公告)号：CN108873599B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201810428812.4
申请日：2018-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围，并且将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，每个评价区域中的平坦度为至多3μm。从具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的石英玻璃衬底制备大尺寸光掩模。
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公开(公告)号：CN101821058A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200980100696.2
申请日：2009-05-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C19/00 , B24B1/00 , B24B37/00 , B24B37/0056 , C03C15/02 , C09G1/02 , C09G1/04 , C09K3/1454 , C09K3/1463 , C09K13/02 , C09K13/06
Abstract: 本发明公开了合成石英玻璃基板用抛光剂，其特征在于含有胶体二氧化硅等的胶体溶液，和聚羧酸系聚合物、酸性氨基酸、酚类或糖胺聚糖，所述胶体溶液具有20-50质量％的胶体浓度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100403097C
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN03102309.6
申请日：2003-01-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/60 , B24B7/00 , B24C1/00 , C03C19/00 , G02F2001/133302 , Y10T428/315
Abstract: 公开一种大尺寸衬底，它具有不小于500mm的对角线长度和不大于6.0×10-6的平面度/对角线长度比率。通过把按照本发明的大尺寸衬底用于曝光，曝光精度被提高，特别是对齐精度和分辨率，因此可能获得大尺寸面板的高精度曝光。通过使用按照本发明的加工方法，有可能稳定获得高平面度的大尺寸光掩模衬底，由于在面板曝光时CD精度(尺寸精度)被提高，有可能执行精细图案的曝光，使面板进入更高的领域。另外，通过应用按照本发明的加工方法，也可能产生任意的表面形状。
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公开(公告)号：CN108873599A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810428812.4
申请日：2018-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C19/00 , B24B1/00 , C03C3/06 , C03C2204/08 , G01B5/285 , G03F1/60 , G03F1/36
Abstract: 本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围，并且将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，每个评价区域中的平坦度为至多3μm。从具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的石英玻璃衬底制备大尺寸光掩模。
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公开(公告)号：CN107176794A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710134890.9
申请日：2017-03-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03B33/02 , B28D5/00 , C03C3/06 , C03C15/00 , C03C17/28 , C03C2201/02 , C03C2203/50 , C03C2218/114 , C03C2218/32 , G01B11/06 , G01N21/23 , C03C17/34 , B24B1/00 , C03B33/074 , C03C2217/70
Abstract: 通过提供合成石英玻璃块材，用在双折射测定波长下具有至少99.0％/mm的透射率的液体涂布该玻璃块材的两个相对表面，通过引导光从其经过而测定该玻璃块材的双折射，基于双折射测定和该基板的尺寸来确定切割厚度，和以确定的切割厚度将该玻璃块材切割，从而制备合成石英玻璃基板。
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公开(公告)号：CN103144012A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210599155.2
申请日：2012-11-15
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B37/042 , B24B37/044 , B24B37/24 , B24D3/28
Abstract: 通过送入浆料和使用抛光衬垫抛光基板表面来制造基板。抛光衬垫具有与基板表面相接触的多孔拉毛层，拉毛层由基础树脂制成，基础树脂包括至少三种树脂，一般是醚类树脂，酯类树脂和聚碳酸酯树酯。抛光基板具有非常平的表面和最小的缺陷数。
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公开(公告)号：CN1437045A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN03102309.6
申请日：2003-01-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/60 , B24B7/00 , B24C1/00 , C03C19/00 , G02F2001/133302 , Y10T428/315
Abstract: 公开一种大尺寸衬底，它具有不小于500mm的对角线长度和不大于6.0×10－6的平面度/对角线长度比率。通过把按照本发明的大尺寸衬底用于曝光，曝光精度被提高，特别是对齐精度和分辨率，因此可能获得大尺寸面板的高精度曝光。通过使用按照本发明的加工方法，有可能稳定获得高平面度的大尺寸光掩模衬底，由于在面板曝光时CD精度(尺寸精度)被提高，有可能执行精细图案的曝光，使面板进入更高的领域。另外，通过应用按照本发明的加工方法，也可能产生任意的表面形状。
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