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公开(公告)号：CN109913826B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN201910239047.6
申请日：2019-03-27
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及疏水膜材料领域，具体涉及一种银引入氮化铪膜高疏水耐久材料，包括母体材料，母体材料选用氮化铪，在制备过程中，引入与母体材料不润湿的银元素并采用磁控共溅射的方法，制备出银引入氮化铪膜高疏水耐久材料；本发明没有使用昂贵、复杂的实验装置，而是根据薄膜不同的结构与性质提出了一套简单可行的技术方案，解决了现有问题，制得的该材料不但具有良好的疏水性，还具有优异的耐久性，有望在高速固液粒子撞击、高温以及腐蚀液体气体存在的严苛环境下作为高疏水耐久膜使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110016650B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201910239032.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及薄膜表面粗化速率领域，具体涉及一种原位大范围调控薄膜表面粗化速率的方法，包括样品材料，所述样品材料选用氮化铪，在制备过程中，通过采用磁控共溅射的方法，引入非晶层，利用非晶包裹作用阻碍上坡扩散进而获得低的粗化速率；本发明将增原子扩散理论指导实践，简化了复杂的扩散，只考虑影响表面粗化速率的上坡和下坡扩散，提出了原子水平上控制表面生长的新方法。通过引入非晶层，阻碍上坡扩散将上下坡扩散概率比大大降低，进而获得极低的粗化速率，制备出了超光滑的薄膜；通过引入与母体材料不润湿的元素，阻碍下坡扩散将上下坡扩散概率比大大的提高，进而获得了极高的粗化速率，制备出了超粗糙的薄膜。
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公开(公告)号：CN110016650A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910239032.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及薄膜表面粗化速率领域，具体涉及一种原位大范围调控薄膜表面粗化速率的方法，包括样品材料，所述样品材料选用氮化铪，在制备过程中，通过采用磁控共溅射的方法，引入非晶层，利用非晶包裹作用阻碍上坡扩散进而获得低的粗化速率；本发明将增原子扩散理论指导实践，简化了复杂的扩散，只考虑影响表面粗化速率的上坡和下坡扩散，提出了原子水平上控制表面生长的新方法。通过引入非晶层，阻碍上坡扩散将上下坡扩散概率比大大降低，进而获得极低的粗化速率，制备出了超光滑的薄膜；通过引入与母体材料不润湿的元素，阻碍下坡扩散将上下坡扩散概率比大大的提高，进而获得了极高的粗化速率，制备出了超粗糙的薄膜。
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公开(公告)号：CN110018331A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910238314.8
申请日：2019-03-27
Applicant: 吉林大学
IPC: G01Q60/24
Abstract: 本发明公开了表征增原子技术领域的一种表征增原子上下坡扩散概率比的方法，包括以下步骤，S1：利用原子力显微镜(AFM)测量样品的表面形貌获得粗糙度；S2：利用Gwyddion软件用于模拟表面形貌，RMS和PSD光谱；S3：获得每个粗糙表面的突出尺寸数据(即h，s)；S4：计算Δh/h0-Δs/s0直线的斜率获得该制备条件下上下坡扩散概率比δ，本发明利用实验结果指导模拟，借助表面粗糙度和PSD图与表面形貌的唯一对应关系，给出了表征增原子上下坡扩散概率比的方法，对进一步研究表面粗化的微观机理起到了推动作用。表征增原子上下坡扩散概率比的方法，过程简单、效率高，对于各种沉积工艺有广泛的适用性，极大的推动了薄膜表面工艺的发展。
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公开(公告)号：CN109943818A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910239106.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及薄膜技术领域，具体涉及一种制备超粗糙表面的方法；本发明通过引入适量的与母体材料不润湿的原子等手段，促进上坡扩散将粗化速率大幅度的增加，进而制备出了母体材料结构不变的超粗糙的薄膜；本发明提出的原位制备超粗糙膜的方法，制备工艺简单、效率高，制备出的薄膜不仅表面粗糙而且均匀稳定，膜厚控制在了4μm以下，广泛的适用于各种对粗糙表面有需求的涂层应用，比如细胞培养基，防雾玻璃等。
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公开(公告)号：CN109913826A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910239047.6
申请日：2019-03-27
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及疏水膜材料领域，具体涉及一种新型银引入氮化铪膜高疏水耐久材料，包括母体材料，母体材料选用氮化铪，在制备过程中，引入与母体材料不润湿的银元素并采用磁控共溅射的方法，制备出新型银引入氮化铪膜高疏水耐久材料；本发明没有使用昂贵、复杂的实验装置，而是根据薄膜不同的结构与性质提出了一套简单可行的技术方案，解决了现有问题，制得的该材料不但具有良好的疏水性，还具有优异的耐久性，有望在高速固液粒子撞击、高温以及腐蚀液体气体存在的严苛环境下作为高疏水耐久膜使用。
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