公开(公告)号：CN102251214A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN201110185137.5

申请日：2011-07-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 朱嘉琦 ,  沈伟霞 ,  贾泽纯 ,  韩杰才 ,  王家智

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02

Abstract: 磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，它属于耐磨耐蚀涂层领域。本发明要解决现有磷化硼薄膜制备方法存在寿命短的技术问题。本发明方法：一、超声清洗；二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空至真空度达到1.0×10-7～9.9×10-7Pa，启动加热装置，加热至200～600℃后保温10～30分钟；步骤三、反溅清洗；步骤四、以高纯硼靶和PH3做反应物镀膜，制得磷化硼耐磨耐蚀涂层。本发明制备的磷化硼薄膜具有很高的硬度与模量，与基底良好的附着性以及很低的残余应力，在摩擦磨损过程中磨损率小，磨损寿命长。

公开(公告)号：CN102251214B

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN201110185137.5

申请日：2011-07-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 朱嘉琦 ,  沈伟霞 ,  贾泽纯 ,  韩杰才 ,  王家智

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02

Abstract: 磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，它属于耐磨耐蚀涂层领域。本发明要解决现有磷化硼薄膜制备方法存在寿命短的技术问题。本发明方法：一、超声清洗；二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空至真空度达到1.0×10-7～9.9×10-7Pa，启动加热装置，加热至200～600℃后保温10～30分钟；步骤三、反溅清洗；步骤四、以高纯硼靶和PH3做反应物镀膜，制得磷化硼耐磨耐蚀涂层。本发明制备的磷化硼薄膜具有很高的硬度与模量，与基底良好的附着性以及很低的残余应力，在摩擦磨损过程中磨损率小，磨损寿命长。