公开(公告)号：CN105441891A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201511018533.3

申请日：2015-12-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 唐光泽 ,  马欣新 ,  罗甸 ,  古乐 ,  王黎钦 ,  吴廷宝 ,  马芳

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C14/04

CPC classification number: C23C14/35 ,  C23C14/022 ,  C23C14/165 ,  C23C14/582

Abstract: 一种利用强流脉冲电子束在工件表面制备钽合金化固体润滑层的方法，它涉及一种制备钽合金化固体润滑层的方法。本发明的目的是要解决现有在工件表面制备合金化层容易出现微裂纹、摩擦系数大、喷发和层间剥离等表面缺陷的问题。方法：一、将工件与真空室内的旋转靶台相连接；二、电子束辐照清洗；三、磁控溅射预镀钽层；四、电子束辐照合金化；五、将表面合金化的工件放到真空热处理炉中；六、热处理；七、气淬火；八、重复热处理和气淬火，得到工件表面电子束坦合金化层。本发明可获得种利用强流脉冲电子束在工件表面制备钽合金化固体润滑层的方法。

公开(公告)号：CN105441891B

公开(公告)日：2017-11-03

申请号：CN201511018533.3

申请日：2015-12-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 唐光泽 ,  马欣新 ,  罗甸 ,  古乐 ,  王黎钦 ,  吴廷宝 ,  马芳

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C14/04

Abstract: 一种利用强流脉冲电子束在工件表面制备钽合金化固体润滑层的方法，它涉及一种制备钽合金化固体润滑层的方法。本发明的目的是要解决现有在工件表面制备合金化层容易出现微裂纹、摩擦系数大、喷发和层间剥离等表面缺陷的问题。方法：一、将工件与真空室内的旋转靶台相连接；二、电子束辐照清洗；三、磁控溅射预镀钽层；四、电子束辐照合金化；五、将表面合金化的工件放到真空热处理炉中；六、热处理；七、气淬火；八、重复热处理和气淬火，得到工件表面电子束坦合金化层。本发明可获得种利用强流脉冲电子束在工件表面制备钽合金化固体润滑层的方法。