公开(公告)号：CN104620389A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201380047510.8

申请日：2013-09-09

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 嶋田幸峰 ,  锦博彦 ,  纪藤贤一

IPC: H01L29/786 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532

CPC classification number: H01L29/7869 ,  G02F1/1368 ,  G02F2201/50 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/441 ,  H01L23/53223 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1259 ,  H01L29/24 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/45 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78618 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的半导体装置(101)包括：基板(1)；以氧化物半导体层(6)为有源层的薄膜晶体管(10)；覆盖薄膜晶体管的保护层(11)；配置在保护层(11)与基板(1)之间的金属层(9d、9t)；形成在保护层(11)上的透明导电层(13、13t)；和用于将金属层(9d、9t)与透明导电层(13、13t)电连接的连接部(20、30)，连接部(20、30)具有与氧化物半导体层(6)由相同的氧化物膜形成、且电阻比氧化物半导体层(6)低的氧化物连接层(6a、6t)，金属层(9d、9t)经氧化物连接层(6a、6t)与透明导电层(13、13t)电连接。

公开(公告)号：CN104620389B

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201380047510.8

申请日：2013-09-09

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 嶋田幸峰 ,  锦博彦 ,  纪藤贤一

IPC: H01L29/786 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532

CPC classification number: H01L29/7869 ,  G02F1/1368 ,  G02F2201/50 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/441 ,  H01L23/53223 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1259 ,  H01L29/24 ,  H01L29/41733 ,  H01L29/45 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78618 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的半导体装置(101)包括：基板(1)；以氧化物半导体层(6)为有源层的薄膜晶体管(10)；覆盖薄膜晶体管的保护层(11)；配置在保护层(11)与基板(1)之间的金属层(9d、9t)；形成在保护层(11)上的透明导电层(13、13t)；和用于将金属层(9d、9t)与透明导电层(13、13t)电连接的连接部(20、30)，连接部(20、30)具有与氧化物半导体层(6)由相同的氧化物膜形成、且电阻比氧化物半导体层(6)低的氧化物连接层(6a、6t)，金属层(9d、9t)经氧化物连接层(6a、6t)与透明导电层(13、13t)电连接。

公开(公告)号：CN101842827A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200880101062.4

申请日：2008-08-04

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中哲宪 ,  伴厚志 ,  妹尾亨 ,  中村涉 ,  嶋田幸峰

IPC: G09F9/30 ,  G02F1/1345 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/1345 ,  H01L27/1244 ,  H01L27/1288

Abstract: 本发明涉及有源矩阵基板、有源矩阵基板的制造方法和液晶显示装置。本发明涉及用于液晶显示装置的有源矩阵基板和具备该有源矩阵基板的液晶显示装置。本发明的有源矩阵基板(30)具备：基板；形成在基板上的栅极配线(50)；和层间绝缘层(90)，该层间绝缘层(90)用于将形成在栅极配线(50)上的其它层与栅极配线(50)绝缘，在基板的一部分区域中，层间绝缘层(90)不设置在栅极配线(50)的上表面而使上表面露出，另一方面，在栅极配线(50)的至少沿着长度方向的端面，层间绝缘层(90)以与端面相接的方式设置在基板上。根据本发明，能够减少在有源矩阵基板的制造时和部件安装时的不良情况的产生，因此能够利用在追求低成本且高可靠性的液晶显示装置的制造中。

公开(公告)号：CN103984166B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201410222378.6

申请日：2008-08-04

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中哲宪 ,  伴厚志 ,  妹尾亨 ,  中村涉 ,  嶋田幸峰

IPC: G02F1/1345 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/12 ,  H01L21/84

CPC classification number: G02F1/1345 ,  H01L27/1244 ,  H01L27/1288

Abstract: 本发明涉及有源矩阵基板、有源矩阵基板的制造方法和液晶显示装置。本发明涉及用于液晶显示装置的有源矩阵基板和具备该有源矩阵基板的液晶显示装置。本发明的有源矩阵基板具备：基板；形成在基板上的栅极配线；和层间绝缘层，该层间绝缘层用于将形成在栅极配线上的其它层与栅极配线绝缘，在基板的一部分区域中，层间绝缘层不设置在栅极配线的上表面而使上表面露出，另一方面，在栅极配线的至少沿着长度方向的端面，层间绝缘层以与端面相接的方式设置在基板上。根据本发明，能够减少在有源矩阵基板的制造时和部件安装时的不良情况的产生，因此能够利用在追求低成本且高可靠性的液晶显示装置的制造中。

公开(公告)号：CN103984166A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201410222378.6

申请日：2008-08-04

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 田中哲宪 ,  伴厚志 ,  妹尾亨 ,  中村涉 ,  嶋田幸峰

IPC: G02F1/1345 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/12 ,  H01L21/84

CPC classification number: G02F1/1345 ,  H01L27/1244 ,  H01L27/1288

Abstract: 本发明涉及有源矩阵基板、有源矩阵基板的制造方法和液晶显示装置。本发明涉及用于液晶显示装置的有源矩阵基板和具备该有源矩阵基板的液晶显示装置。本发明的有源矩阵基板具备：基板；形成在基板上的栅极配线；和层间绝缘层，该层间绝缘层用于将形成在栅极配线上的其它层与栅极配线绝缘，在基板的一部分区域中，层间绝缘层不设置在栅极配线的上表面而使上表面露出，另一方面，在栅极配线的至少沿着长度方向的端面，层间绝缘层以与端面相接的方式设置在基板上。根据本发明，能够减少在有源矩阵基板的制造时和部件安装时的不良情况的产生，因此能够利用在追求低成本且高可靠性的液晶显示装置的制造中。