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公开(公告)号:CN112714960B
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN201880097494.6
申请日:2018-09-18
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L29/786 , G09F9/30 , G09G3/20 , H10K59/121 , H10K59/123
Abstract: 显示装置(1)具有包括驱动晶体管(2a)和开关晶体管(2b)的像素电路,驱动晶体管(2a)在基板(10)上层叠无机绝缘膜(20)、氧化物半导体层(50)、上部栅极绝缘层(60)、上部栅极电极(70)以及层间绝缘膜(80)而形成。驱动晶体管(2a)及开关晶体管(2b)由氧化物半导体层(50)形成,包括分别对应且呈岛状设置的氧化物半导体膜,氧化物半导体膜具有与对应的上部栅极电极(70)重叠的沟道区域、将沟道区域夹在相互之间而设置的源极区域及漏极区域。驱动晶体管(2a)在无机绝缘膜(20)与氧化物半导体层(50)之间设置有下部栅极电极(30)和下部栅极绝缘层(40)。驱动晶体管(2a)的下部栅极电极(30)的长度为驱动晶体管(2a)的上部栅极电极(70)的长度以下。
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公开(公告)号:CN112714960A
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN201880097494.6
申请日:2018-09-18
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L29/786 , G09F9/30 , G09G3/20 , H01L51/50
Abstract: 显示装置(1)具有包括驱动晶体管(2a)和开关晶体管(2b)的像素电路,驱动晶体管(2a)在基板(10)上层叠无机绝缘膜(20)、氧化物半导体层(50)、上部栅极绝缘层(60)、上部栅极电极(70)以及层间绝缘膜(80)而形成。驱动晶体管(2a)及开关晶体管(2b)由氧化物半导体层(50)形成,包括分别对应且呈岛状设置的氧化物半导体膜,氧化物半导体膜具有与对应的上部栅极电极(70)重叠的沟道区域、将沟道区域夹在相互之间而设置的源极区域及漏极区域。驱动晶体管(2a)在无机绝缘膜(20)与氧化物半导体层(50)之间设置有下部栅极电极(30)和下部栅极绝缘层(40)。驱动晶体管(2a)的下部栅极电极(30)的长度为驱动晶体管(2a)的上部栅极电极(70)的长度以下。
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