公开(公告)号：CN101558292A

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200780045699.1

申请日：2007-12-13

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 水津秀美 ,  西村康弘 ,  岩田正和

IPC: G01N21/958 ,  G01M11/00 ,  G01B11/30 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  H01J9/42

CPC classification number: G01M11/081 ,  G01N21/896 ,  G02F2001/133302 ,  Y10T428/1045

Abstract: 本发明提供一种玻璃板缺陷检测装置(10)，其迅速且有效地高精度检测产生于玻璃板内部或表面的各种缺陷。玻璃板缺陷检测装置(10)具备配置于夹着玻璃板(G)的相对位置的光源(20)和光接收装置(30)。玻璃板(G)具有在其厚度方向上相对的透光面(Ga)、(Gb)，且以透光面(Ga)、(Gb)相对该玻璃板缺陷检测装置(10)的光学系统的光轴(Lx)倾斜规定角度(α)的方式配置于光源(20)和光接收装置(30)之间。此外，光接收装置(30)和玻璃板(G)在光轴(Lx)上，以光接收装置(30)的透镜系统(31)的焦点距离(F)小于从光接收装置(30)的光接收元件到玻璃板(G)的距离(Z)的位置关系配置。

公开(公告)号：CN101558292B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200780045699.1

申请日：2007-12-13

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 水津秀美 ,  西村康弘 ,  岩田正和

IPC: G01N21/958 ,  G01M11/00 ,  G01B11/30 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  H01J9/42

CPC classification number: G01M11/081 ,  G01N21/896 ,  G02F2001/133302 ,  Y10T428/1045

Abstract: 本发明提供一种玻璃板缺陷检测装置(10)，其迅速且有效地高精度检测产生于玻璃板内部或表面的各种缺陷。玻璃板缺陷检测装置(10)具备配置于夹着玻璃板(G)的相对位置的光源(20)和光接收装置(30)。玻璃板(G)具有在其厚度方向上相对的透光面(Ga)、(Gb)，且以透光面(Ga)、(Gb)相对该玻璃板缺陷检测装置(10)的光学系统的光轴(Lx)倾斜规定角度(α)的方式配置于光源(20)和光接收装置(30)之间。此外，光接收装置(30)和玻璃板(G)在光轴(Lx)上，以光接收装置(30)的透镜系统(31)的焦点距离(F)小于从光接收装置(30)的光接收元件到玻璃板(G)的距离(Z)的位置关系配置。

公开(公告)号：CN107709260B

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN201680038286.X

申请日：2016-08-23

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 高桥祐之 ,  大野和宏 ,  中塚弘树 ,  岩田正和

IPC: C03C15/00

Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。

公开(公告)号：CN107709260A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038286.X

申请日：2016-08-23

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 高桥祐之 ,  大野和宏 ,  中塚弘树 ,  岩田正和

IPC: C03C15/00

Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。