-
-
公开(公告)号：CN109790064B
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN201780059814.4
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , H01L21/302
Abstract: 本发明提供一种玻璃基板(2)的制造方法，其中，在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，以使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的过程中，利用从主体部(5a)具备的供气口(14)供给到处理空间(13)的处理气体(4)来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理之际，朝向搬运方向的下游侧喷射第一吹扫气体6，以使得在形成于玻璃基板2中的进入到处理空间(13)的部位与顶板部(5b)之间的间隙(13a)，形成沿着搬运方向的第一吹扫气体(6)的流动，其中，在玻璃基板(2)的最后部(2e)进入处理空间(13)之前，停止喷射第一吹扫气体(6)。
-
公开(公告)号：CN110088055B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201780079164.X
申请日：2017-11-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
Abstract: 本发明的玻璃基板的制造装置(10)具备用于向成为玻璃基板的板状玻璃的一方的主表面供给处理气体(Ga)而实施规定的表面处理的表面处理装置(11)。表面处理装置(11)具备：处理气体生成装置(16)；将处理气体(Ga)向板状玻璃的一方的主表面供给的供气通道(17)；对处理气体(Ga)实施除害处理的除害装置(18)；将供给到一方的主表面的处理气体(Ga)向除害装置(18)导入的排气通道(19)；以及向供气通道(17)导入无害气体(Gb)的无害气体导入通道(20)。能够向供气通道(17)的比无害气体导入通道(20)与供气通道(17)的汇合位置(P1)靠下游侧的位置导入无害气体(Gb)和处理气体(Ga)中的任一方。
-
公开(公告)号：CN109843821B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201780064578.5
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 一种玻璃基板的制造方法，包含如下工序：在将玻璃基板(2)以平放姿势沿搬运方向搬运，使得通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)的相互之间形成的处理空间(13)的同时，使用处理气体(4)，对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，其中，从设置于主体部(5a)的供气口(14)向处理空间(13)供给该处理气体(4)，并且，通过分别设置于主体部(5a)的搬运方向的上游侧端部及下游侧端部的排气口(15)从处理空间(13)排出该处理气体(4)，关于沿着搬运方向的距离，下游侧端部的排气口(15)与最下游侧的供气口(14)的相互间距离(D2)比上游侧端部的排气口(15)与最上游侧的供气口(14)的相互间距离(D1)长。
-
公开(公告)号：CN109963820A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201780070959.4
申请日：2017-10-20
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , B65G49/06 , H01L21/302
Abstract: 本发明的玻璃基板(P)的制造装置(10)具备将玻璃基板(P)沿规定的方向(X1)输送的输送装置(11)和表面处理装置(12)。表面处理装置(12)具备：箱体(14)；在箱体(14)中的一个主表面(P1)侧开口的开口部(17)；以相对于开口部(17)能够拆卸的方式安装，且具有用于向一个主表面(P1)供给处理气体(Ga)的供气口(31)的一个或多个供气单元(18)。这里，供气单元(18)安装在开口部(17)中的沿着玻璃基板(P)的输送方向(X1)的多个位置处。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109890772A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201780067500.9
申请日：2017-10-30
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 在将玻璃基板(2)以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板(2)通过在对置配置的主体部(5a)与顶板部(5b)之间形成的处理空间(13)的同时，使用从供气口(14)向处理空间(13)供给且通过排气口(15)从处理空间(13)排出的处理气体(4)，来对玻璃基板(2)的下表面(2a)实施蚀刻处理，所述供气口(14)设置于主体部(5a)，所述排气口(15)分别设置于主体部(5a)的输送方向的上游侧端部及下游侧端部，此时，在上游侧端部的排气口(15)与下游侧端部的排气口(15)之间，沿着输送方向配置多个供气口(14)，从各供气口(14)供给处理气体(4)。
-
公开(公告)号：CN107683265B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201680033710.1
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使上部结构体(10)的下表面(10a)与具有供气口(22)以及排气口(26)的下部结构体(11)的上表面(11a)对置配置而形成于对置的两个面(10a、11a)彼此之间的处理空间(13)内，利用从供气口(22)喷出并向排气口(26)吸入的处理气体(5)对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(22)与排气口(26)在玻璃板搬运方向(A)上位于分离开的位置，组装于下部结构体(11)的特定搬运机构(9)从下方支承玻璃板(3)，以供进行该玻璃板(3)的搬运，将特定搬运机构(9)配置在除了供气口(22)与排气口(26)彼此之间的区域之外的区域。
-
公开(公告)号：CN107709260B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201680038286.X
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。
-
公开(公告)号：CN107709261A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038292.5
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(20)以及排气口(24)的下部结构体(10)的上表面与上部结构体(9)的下表面对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面彼此之间的处理空间(12)内，利用从供气口(20)喷出并被排气口(24)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，此时，在处理空间(12)内，供气口(20)所位于的区域的高度高于排气口(24)所位于的区域的高度。
-
公开(公告)号：CN107709260A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680038286.X
申请日：2016-08-23
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03C15/00
Abstract: 在使具有供气口(26)以及排气口(30)的下部结构体(11)的上表面(14)与上部结构体(10)的下表面(13)对置配置而形成于对置的所述上表面与所述下表面这两面(13、14)彼此之间的处理空间(15)内，利用从供气口(16)喷出并被排气口(30)吸入的处理气体(5)来对沿着水平方向搬运的玻璃板(3)的下表面(3a)实施蚀刻处理，并且，使供气口(26)与排气口(30)在玻璃板(3)搬运方向上位于分离开的位置。而且，在下部结构体(11)的上表面(14)中，使从排气口(30)至供气口(26)为止的区域中的最高位的上表面部(22a)高于排气口(30)的处理气体流动方向下游侧的区域中的最高位的上表面部(18ab)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
41
records
(took 0.023 seconds)
