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公开(公告)号：CN1171241C
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN00803600.4
申请日：2000-02-10
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: H01B1/06 , C23C14/0641
Abstract: 含Ti和/或Zr及选自Al、Si、Mo、Cr、Nb、Hf、Ni、Co、Fe、Pd、Ag、Au和Pt的一种以上金属、耐热性好的导电性氮化物膜及其制备方法，以及用该导电性氮化物膜的防反射体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100523290C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200480031912.X
申请日：2004-10-27
IPC: C23C16/455 , C23F4/00 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01J37/32449 , C23C16/45589 , H01J37/3244 , H01L21/02164 , H01L21/02186 , H01L21/02271 , H01L21/02274 , H01L21/31612 , H01L21/67017
Abstract: 本发明的课题为，以简略且低成本的结构，使向基材上的均匀的气体供给成为可能，而实现高质量的表面处理。作为其解决的方法，是一边将基材(12)朝特定方向搬送，一边向其表面供给表面处理用气体，由此进行基材(12)的表面处理，作为所述表面处理用气体的供给机构，是使具有圆筒状外周面的旋转体(24)的上述外周面，与所述基材(12)的表面、或设置于从上述基材相离的位置的对向构件(20)，隔有间隙(23)而相对向，使之以与所述基材(12)的搬送方向大致垂直的方向的轴为中心而旋转。由此旋转，使所述表面处理用气体卷入旋转体(24)的外周面，导向所述间隙(23)，从此间隙(23)向所述基材(12)的表面送出表面处理用气体。
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公开(公告)号：CN1875129A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480031912.X
申请日：2004-10-27
IPC: C23C16/455 , C23F4/00 , H01L21/3065 , H01L21/31
CPC classification number: H01J37/32449 , C23C16/45589 , H01J37/3244 , H01L21/02164 , H01L21/02186 , H01L21/02271 , H01L21/02274 , H01L21/31612 , H01L21/67017
Abstract: 本发明的课题为，以简略且低成本的结构，使向基材上的均匀的气体供给成为可能，而实现高质量的表面处理。作为其解决的方法，是一边将基材(12)朝特定方向搬送，一边向其表面供给表面处理用气体，由此进行基材(12)的表面处理，作为所述表面处理用气体的供给机构，是使具有圆筒状外周面的旋转体(24)的上述外周面，与所述基材(12)的表面、或设置于从上述基材相离的位置的对向构件(20)，隔有间隙(23)而相对向，使之以与所述基材(12)的搬送方向大致垂直的方向的轴为中心而旋转。由此旋转，使所述表面处理用气体卷入旋转体(24)的外周面，导向所述间隙(23)，从此间隙(23)向所述基材(12)的表面送出表面处理用气体。
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公开(公告)号：CN1340201A
公开(公告)日：2002-03-13
申请号：CN00803600.4
申请日：2000-02-10
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: H01B1/06 , C23C14/0641
Abstract: 含Ti和/或Zr及选自Al、Si、Mo、Cr、Nb、Hf、Ni、Co、Fe、Pd、Ag、Au和Pt的一种以上金属、耐热性好的导电性氮化物膜及其制备方法,以及用该导电性氮化物膜的防反射体。
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公开(公告)号：CN1602553A
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN02824484.2
申请日：2002-12-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L31/0236
CPC classification number: H01L31/0236 , C03B13/08 , H01L31/048 , H01L31/0488 , H01L31/18 , Y02B10/12 , Y02E10/50
Abstract: 介绍了一种用于太阳能电池罩板的透明基底，它能提高日间和全年照射进入到太阳能电池模块上的光量，且/或有效防止由模块光入射侧上光反射引起的环境问题；还介绍了一种制造所述透明基底和含有这种基底的太阳能模块的方法。防护玻璃罩上光入射的几乎整个表面上形成了半球形凹陷部分，其中每个凹陷部分中央位置的深度d和凹陷部分开口半径D之比d/D在0.1－0.50之间，没有凹陷部分的平面部分占光入射侧的比例不超过40％。
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公开(公告)号：CN100391011C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN02824484.2
申请日：2002-12-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: H01L31/0236
CPC classification number: H01L31/0236 , C03B13/08 , H01L31/048 , H01L31/0488 , H01L31/18 , Y02B10/12 , Y02E10/50
Abstract: 介绍了一种用于太阳能电池罩板的透明基底，它能提高日间和全年照射进入到太阳能电池模块上的光量，且/或有效防止由模块光入射侧上光反射引起的环境问题；还介绍了一种制造所述透明基底和含有这种基底的太阳能模块的方法。防护玻璃罩上光入射的几乎整个表面上形成了半球形凹陷部分，其中每个凹陷部分中央位置的深度d和凹陷部分开口半径D之比d/D在0.1-0.50之间，没有凹陷部分的平面部分占光入射侧的比例不超过40%。
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