-
公开(公告)号：CN102759534A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201110114864.2
申请日：2011-04-29
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01N21/958
Abstract: 提供一种能够检测依次加工的多个玻璃板的共同的位置产生的缺陷的玻璃板检查装置。线性照明(2)对玻璃板(10)照射光。而且，线性相机(3)拍摄由输送辊(1)输送的玻璃板。运算装置(4)每当线性相机(3)进行一张玻璃板的拍摄时，基于包含该玻璃板在内的最近的规定张数玻璃板的拍摄图像，判定该规定张数的玻璃板中的、定为比该规定张数少的第二规定张数以上的玻璃板是否在共同的位置产生缺陷。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102589474A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110420450.2
申请日：2011-12-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像中的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，向上述第一表面照射的上述图案的光的波长是200nm～380nm。
-
公开(公告)号：CN102445168A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010502721.4
申请日：2010-09-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种以廉价的装置结构，能够除去背面反射图像的影响，高精度地检查表面形状的特性的检查方法及检查装置。首先，作为透明板状体(3)(被检查物体)适用的条纹图案，决定以透明板状体的表面形成的反射图像和透明板状体的背面形成的反射图像在通过拍摄而得到的图像信号分离的方式设定的、具有明暗图案的条纹图案(1)。其后，使用所决定的条纹图案(1)，只用条纹图案(1)的由透明板状体(3)的表面形成的反射图像，通过图像分析对透明板状体(3)的表面形状进行评价。
-
公开(公告)号：CN103534582A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201280022528.8
申请日：2012-04-27
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01N21/896
CPC classification number: G01N21/958
Abstract: 本发明涉及一种透光性板状体的微小缺陷的检查方法，一边沿着输送路径输送透光性板状体一边检查存在于该透光性板状体的微小缺陷，该透光性板状体的微小缺陷的检查方法具有以下步骤：预备检查步骤，向上述透光性板状体照射光，由预备摄像部拍摄上述透光性板状体的主表面，由此来确定在上述透光性板状体的主表面的面方向上存在的上述微小缺陷的位置；以及详查检查步骤，根据在上述预备检查步骤中得到的上述微小缺陷的位置，使主摄像部沿着上述透光性板状体的面方向在与上述透光性板状体的输送方向交叉的方向上移动，在与上述微小缺陷对准的状态下一边向上述输送方向移动一边拍摄上述微小缺陷。
-
-
公开(公告)号：CN102331241A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110196297.X
申请日：2011-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，在位于上述第一表面相反侧的第二表面配置抑制到达该第二表面的光发生反射的反射抑制层。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.025 seconds)
