板状体的研磨方法及板状体的研磨装置

    公开(公告)号:CN106965076A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201610833057.9

    申请日:2012-09-28

    Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法和板状体的研磨装置。板状体的研磨方法具有:平面度测定工序,测定多个板状体的被研磨面的平面度;和研磨工序,研磨测定了平面度的多个上述板状体的被研磨面,在该研磨工序中,在相对推压上述板状体的被研磨面和研磨工具的同时使上述板状体的被研磨面和上述研磨工具相对旋转,而通过上述研磨工具研磨上述板状体的被研磨面,根据在上述平面度测定工序中所测定的上述板状体的被研磨面的平面度,以使多个上述板状体的被研磨面的平坦度的分布峰值相对于规格值存在于‑0.15至‑0.05的范围内的方式变更上述研磨工序的研磨条件。

    板状体的研磨方法及板状体的研磨装置

    公开(公告)号:CN103842130A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201280007243.7

    申请日:2012-09-28

    CPC classification number: B24B37/04 B24B49/04

    Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法,具有:平面度测定工序,测定板状体的被研磨面的平面度;和研磨工序,研磨测定了平面度的上述板状体的被研磨面,在该研磨工序中,在相对推压上述板状体的被研磨面和研磨工具的同时使上述板状体的被研磨面和上述研磨工具相对旋转,而通过上述研磨工具研磨上述板状体的被研磨面,根据在上述平面度测定工序中所测定的上述板状体的被研磨面的平面度,变更上述研磨工序的研磨条件。

    透明板表面检查装置、透明板表面检查方法以及玻璃板的制造方法

    公开(公告)号:CN107289878A

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201710232726.1

    申请日:2017-04-11

    CPC classification number: G01B11/254

    Abstract: 本发明提供检查精度得到提高的透明板表面检查装置。该装置是检查透明板的主表面的透明板表面检查装置,其具备包含条纹图案的光源、设置于来自所述光源的光在所述主表面反射处的线传感器摄像机、对拍摄的所述条纹图案的图像进行图像处理的图像处理装置,所述线传感器摄像机具有包含在规定方向上排列的多个像素的拍摄元件、使所述条纹图案在所述拍摄元件上成像的透镜,所述光源及所述拍摄元件两者均配置在所述主表面的一侧且各自朝向所述主表面斜向相对,配置于所述规定方向的一端的所述像素在所述主表面的拍摄点的面积(S1)、与配置于所述规定方向的另一端的所述像素在所述主表面的拍摄点的面积(S2(S2>S1))之比(S1/S2)在0.20以上。

    玻璃基板端面的评价方法及玻璃基板端面的加工方法以及玻璃基板

    公开(公告)号:CN102985386A

    公开(公告)日:2013-03-20

    申请号:CN201180033900.0

    申请日:2011-02-21

    Abstract: 本发明提供能够正确评价玻璃基板的端面的特性的玻璃基板端面的评价方法及基于该评价方法的玻璃基板端面的加工方法以及基于该加工方法,能够减少玻璃基板端面的尘埃附着的玻璃基板,并且基于该加工方法,能够防止在倒角面产生烧伤、崩裂、缺口等缺点的玻璃基板。根据本发明,对利用激光显微镜(14)拍摄到的端面(Z)的图像进行白黑二值化处理,将端面存在的凹部作为白图像,将端面的镜面作为黑图像进行识别,而且,基于白图像的面积相对于黑图像的面积的比率,评价玻璃基板的端面的特性。根据该评价方法,与精度的可靠性依赖于端面(Z)存在的凹部的大小的现有触针式粗糙度仪进行的评价方法相比较,能够更正确地评价玻璃基板(G)的端面(Z)的特性。

    透明板状体表面检查用摄像系统

    公开(公告)号:CN105008854A

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201480009296.1

    申请日:2014-02-12

    CPC classification number: G01B11/2522 G01B11/245 G01B11/306 G01N21/896

    Abstract: 提供一种透明板状体表面检查用摄像系统,线路传感器相机的光线路径中心存在的平面与透明板状体垂直且该平面与透明板状体的搬运方向既未平行也未垂直的情况下,利用表侧的面的反射光的路径与背侧的面的反射光的路径取决于板厚而分离的现象,并能够抑制用于在透明板状体的背侧设置水层的机构的个数的增加。光源(1)在玻璃板(71)未产生变形这样的条件下,配置在从线路传感器相机(2)朝向视野(5)的光线路径由玻璃板(71)反射的延长方向上。光源(1)的条纹图案的照射面的朝向以该照射面沿着玻璃板(71)的行进方向投影的结果成为线段的方式确定。而且,在该照射面上成为条纹图案的暗部的线与玻璃板(71)的搬运方向平行。

    玻璃基板端面的评价方法及玻璃基板端面的加工方法以及玻璃基板

    公开(公告)号:CN102985386B

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201180033900.0

    申请日:2011-02-21

    Abstract: 本发明提供能够正确评价玻璃基板的端面的特性的玻璃基板端面的评价方法及基于该评价方法的玻璃基板端面的加工方法以及基于该加工方法,能够减少玻璃基板端面的尘埃附着的玻璃基板,并且基于该加工方法,能够防止在倒角面产生烧伤、崩裂、缺口等缺点的玻璃基板。根据本发明,对利用激光显微镜(14)拍摄到的端面(Z)的图像进行白黑二值化处理,将端面存在的凹部作为白图像,将端面的镜面作为黑图像进行识别,而且,基于白图像的面积相对于黑图像的面积的比率,评价玻璃基板的端面的特性。根据该评价方法,与精度的可靠性依赖于端面(Z)存在的凹部的大小的现有触针式粗糙度仪进行的评价方法相比较,能够更正确地评价玻璃基板(G)的端面(Z)的特性。

    表面形状的评价方法和表面形状的评价装置

    公开(公告)号:CN102331241A

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN201110196297.X

    申请日:2011-07-12

    Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤:向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案,接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案,将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化,以检测受光图像的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案的亮暗周期的偏离,根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状,在该表面形状的评价方法中,在位于上述第一表面相反侧的第二表面配置抑制到达该第二表面的光发生反射的反射抑制层。

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