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公开(公告)号：CN102435618A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201010505529.0
申请日：2010-09-29
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 尊田嘉之
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明提供一种透明板状体的缺陷检查方法及装置，以解决随着透明板状体增大而检测性能劣化的现有技术的问题。所述透明板状体的缺陷检查方法的特征在于，包括：使用具有配置在透明板状体(1)的主表面侧的线状光源(2)及照相机(3)的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体(1)的主表面的图像即下述第一图像的步骤；同样地拍摄透明板状体(1)的背面的图像即下述第二图像的步骤；对第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；及根据该搜索的结果确认在第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷的步骤。
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公开(公告)号：CN102308181A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201080006557.6
申请日：2010-02-03
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 尊田嘉之
CPC classification number: G01B11/2509
Abstract: 本发明提供一种玻璃板的质量检查方法，该玻璃板的质量检查方法能够根据三点支承的通用实测检查台上的玻璃板形状来预测四点支承的实测检查台上的玻璃板形状。根据玻璃板被放置在三点支承的实测检查台的状态下的玻璃板的三种设计形状数据和玻璃板被放置在实测检查台的状态下的玻璃板的实测形状数据来计算出玻璃板的虚拟的四点支承的位置数据，并且根据载荷分布的移动的程度，使用载荷分布的校正量来计算出期望的实测检查台上的形状数据，从而根据期望的实测检查台上的形状数据、被放置在期望的实测检查台的状态下的玻璃板的形状数据以及质量基准来判断上述玻璃板的质量。
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公开(公告)号：CN101223414A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680025425.1
申请日：2006-07-14
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: G01B11/2509
Abstract: 在无需为制品的每种样式准备检验台的情况下，实施形状检查。具有将被测物放置在实测用检验台的第1工序；获取与该被测物的表面形状相关的信息的第2工序；根据获得的与被测物的表面形状相关的信息，计算出被测物在失重状态下的形状数据的第3工序；根据被测物在失重状态下的形状数据，重新计算出被放置于规定检验台的状态下的被测物的形状数据，根据该重新计算的形状数据，判断被测物1的品质的第4工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102331241A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110196297.X
申请日：2011-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，在位于上述第一表面相反侧的第二表面配置抑制到达该第二表面的光发生反射的反射抑制层。
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公开(公告)号：CN102308181B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201080006557.6
申请日：2010-02-03
Applicant: 旭硝子株式会社
Inventor： 尊田嘉之
CPC classification number: G01B11/2509
Abstract: 本发明提供一种玻璃板的质量检查方法，该玻璃板的质量检查方法能够根据三点支承的通用实测检查台上的玻璃板形状来预测四点支承的实测检查台上的玻璃板形状。根据玻璃板被放置在三点支承的实测检查台的状态下的玻璃板的三种设计形状数据和玻璃板被放置在实测检查台的状态下的玻璃板的实测形状数据来计算出玻璃板的虚拟的四点支承的位置数据，并且根据载荷分布的移动的程度，使用载荷分布的校正量来计算出期望的实测检查台上的形状数据，从而根据期望的实测检查台上的形状数据、被放置在期望的实测检查台的状态下的玻璃板的形状数据以及质量基准来判断上述玻璃板的质量。
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公开(公告)号：CN102589474A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110420450.2
申请日：2011-12-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤：向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案，接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案，将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期相对应的区域的亮暗信号平均化，以检测受光图像中的亮暗周期相对于照射到上述第一表面的图案中的亮暗周期的偏离，根据平均化后的信号评价上述第一表面的表面形状，在该表面形状的评价方法中，向上述第一表面照射的上述图案的光的波长是200nm～380nm。
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公开(公告)号：CN102445168A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010502721.4
申请日：2010-09-30
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明提供一种以廉价的装置结构，能够除去背面反射图像的影响，高精度地检查表面形状的特性的检查方法及检查装置。首先，作为透明板状体(3)(被检查物体)适用的条纹图案，决定以透明板状体的表面形成的反射图像和透明板状体的背面形成的反射图像在通过拍摄而得到的图像信号分离的方式设定的、具有明暗图案的条纹图案(1)。其后，使用所决定的条纹图案(1)，只用条纹图案(1)的由透明板状体(3)的表面形成的反射图像，通过图像分析对透明板状体(3)的表面形状进行评价。
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公开(公告)号：CN101223414B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200680025425.1
申请日：2006-07-14
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: G01B11/2509
Abstract: 在无需为制品的每种样式准备检验台的情况下，实施形状检查。具有将被测物放置在实测用检验台的第1工序；获取与该被测物的表面形状相关的信息的第2工序；根据获得的与被测物的表面形状相关的信息，计算出被测物在失重状态下的形状数据的第3工序；根据被测物在失重状态下的形状数据，重新计算出被放置于规定检验台的状态下的被测物的形状数据，根据该重新计算的形状数据，判断被测物1的品质的第4工序。
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