公开(公告)号：CN1281780C

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：CN01815158.2

申请日：2001-09-05

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 植田宏 ,  神山敏久 ,  神田幸一

IPC: C23C14/34

CPC classification number: H01J37/3491 ,  C23C14/10 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3402

Abstract: 得到一种增大靶材料和支持此靶材料的衬底管的选材可能性、并且制造简单和可再利用的圆筒状靶。将碳毡等缓冲部件52位于内筒为金属制衬底管和外筒为圆筒状靶材料之间，将两者接合形成圆筒状靶。

公开(公告)号：CN1452668A

公开(公告)日：2003-10-29

申请号：CN01815158.2

申请日：2001-09-05

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 植田宏 ,  神山敏久 ,  神田幸一

IPC: C23C14/34

CPC classification number: H01J37/3491 ,  C23C14/10 ,  C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3402

Abstract: 得到一种增大靶材料和支持此靶材料的衬底管的选材可能性、并且制造简单和可再利用的圆筒状靶。将碳毡等缓冲部件52位于内筒为金属制衬底管和外筒为圆筒状靶材料之间，将两者接合形成圆筒状靶。