公开(公告)号：CN102597300A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201080047524.6

申请日：2010-12-01

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 角田幸隆 ,  上野谕

IPC: C23C14/34 ,  F16K3/18 ,  G11B5/85 ,  G11B5/851

CPC classification number: G11B5/85 ,  C23C14/34 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  C23C14/568 ,  F16K3/184 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67126

Abstract: 本发明提供能够一边抑制伴随着闸阀的开闭动作的振动的产生一边高速进行该闸阀的开闭动作的直列式成膜装置。在这样的直列式成膜装置中，在缸(115)内的活塞(114)就要到达一个方向的端部之前，通过将第2开闭阀(117a)完全关闭而仅通过第2流量调整阀(117b)排气，另一方面，在缸(115)内的活塞(114)就要到达另一个方向的端部之前，通过将第1开闭阀(116a)完全关闭而仅通过第1流量调整阀(116b)排气。由此，能够缓和由缸(115)的端部与活塞(114)的接触引起的冲击，抑制振动的产生。