公开(公告)号：CN107976824A

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201711447761.1

申请日：2017-12-27

Applicant: 暨南大学

Inventor： 卢惠辉 ,  董江莉 ,  田富鹏 ,  陈哲 ,  余健辉 ,  关贺元 ,  罗云瀚 ,  丘文涛

IPC: G02F1/035

Abstract: 本发明涉及一种光波导及幅度调制器，包括衬底、第一掩膜板、第二掩膜板、波导芯层、第一偏转电极和第二偏转电极。基于cmos工艺的衬底、第一掩膜板和第二掩膜板形成波导槽，波导槽底部的波导芯层用于待调光束，在第一偏转电极和第二偏转电极接入驱动电压后，通过波导芯层与驱动电压的电光效应，改变待调光束的折射率。基于此，有效降低实现光场偏转所需的驱动电压，缩小实现光场偏转所需的器件的尺寸。

公开(公告)号：CN208224650U

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201721865700.2

申请日：2017-12-27

Applicant: 暨南大学

Inventor： 卢惠辉 ,  董江莉 ,  田富鹏 ,  陈哲 ,  余健辉 ,  关贺元 ,  罗云瀚 ,  丘文涛

IPC: G02F1/035

Abstract: 本实用新型涉及一种光波导及幅度调制器，包括衬底、第一掩膜板、第二掩膜板、波导芯层、第一偏转电极和第二偏转电极。基于cmos工艺的衬底、第一掩膜板和第二掩膜板形成波导槽，波导槽底部的波导芯层用于待调光束，在第一偏转电极和第二偏转电极接入驱动电压后，通过波导芯层与驱动电压的电光效应，改变待调光束的折射率。基于此，有效降低实现光场偏转所需的驱动电压，缩小实现光场偏转所需的器件的尺寸。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利