公开(公告)号：CN104136653A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201380010547.3

申请日：2013-02-28

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 北村一树 ,  西森泰辅 ,  宫川展幸

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/0629 ,  C23C14/5866 ,  H01L51/001

Abstract: 本发明的蒸镀装置用于通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上形成薄膜。该蒸镀装置具有配置在构成热壁的筒状体的内部的分离板。通过该分离板，所述筒状体的内部被分离为在与被蒸镀体的输送方向垂直的方向上并列的第一分离空间和第二分离空间。在所述第一分离空间中设有构成为保持放射到该第一分离空间中的蒸镀材料的蒸镀源和构成为检测来自该蒸镀源的蒸镀材料的放射的传感器。所述第二分离空间的情况也同样。

公开(公告)号：CN103649364A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280033540.9

申请日：2012-07-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 宫川展幸 ,  西森泰辅 ,  安食高志 ,  北村一树

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24

Abstract: 目的在于，在真空蒸镀装置中，在使用了多个蒸发源时，不易发生在被蒸镀体上形成的蒸镀膜的不均，能够形成所希望的膜厚的蒸镀膜。真空蒸镀装置（1）具备：多个蒸发源（3）；将蒸发源（3）及被蒸镀体（2）之间的空间包围、在被蒸镀体侧具有开口面（41）的筒状体（4）。并且，具备在筒状体（4）的内部配置的分隔板（7）。分隔板（7）具有开口部（70），开口部（70）在以重心（P）为中心的直径（D）的圆周范围内设有至少1个以上，直径（D）是分隔板（7）的外周上的2点间距离中的最大值的2/3。根据该构成，能够使从分隔板（7）的开口部（70）流向被蒸镀体（2）侧的气化材料的流束分布相同，因此在使用了多个蒸发源（3）时，不易发生在被蒸镀体（2）上形成的蒸镀膜的不均，能够获得所希望的膜厚的蒸镀膜。

公开(公告)号：CN104066866A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201380006851.0

申请日：2013-01-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 北村一树

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/14 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明提供用于制造发光亮度更均匀的有机电致发光元件的装置。涉及有机电致发光元件制造装置，从多个蒸镀单元(1)通过蒸镀在所输送的被蒸镀体(10)上依次层叠薄膜层(6)，形成有机层(13)。各蒸镀单元(1)具有：蒸镀源(2)，放射用于形成薄膜层(6)的蒸镀材料；筒状体(3)，朝向被蒸镀体(10)放出从蒸镀源(2)放射的蒸镀材料。该筒状体具有放出所述蒸镀材料的开口部。该开口部形成为能够根据放出量调整构造来调整所述蒸镀材料的放出量分布。所述多个蒸镀单元(1)具有：凸型分布蒸镀单元(1a)，使通过放出量调整构造(50)被调整后的薄膜层(6)的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元(1b)，使通过放出量调整构造(50)被调整后的薄膜层(6)的膜厚分布成为凹形状。本发明能够使通过蒸镀而层叠的层叠体的厚度接近均匀，使发光亮度更均匀。

公开(公告)号：CN104066865A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201380006704.3

申请日：2013-01-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 北村一树 ,  宫川展幸

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  C23C14/542

Abstract: 真空蒸镀装置(1)具备：第1、第2蒸发源(3、4)，使蒸镀材料(30、40)蒸发；蒸镀速度控制部(81)，分别控制第1、第2蒸发源的动作；设定蒸镀速度存储部(82a、82b)，分别存储预先设定的第1、第2蒸发源的设定蒸镀速度(A1、A2)；第1、第2膜厚计(7a、7b)，计量各蒸镀材料的混合蒸镀速度(Y1、Y2)。计量部(85)根据第2膜厚计(7b)相对于第1膜厚计(7a)的一个蒸镀材料的到达量比(B1)、第1膜厚计(7a)相对于第2膜厚计(7b)的另一蒸镀材料的到达量比(B2)和混合蒸镀速度(Y1、Y2)，分别计算第1及第2蒸发源的蒸镀速度(X1、X2)，蒸镀速度控制部(81)控制第1、第2蒸发源(3、4)，以使计算值和设定值一致。

公开(公告)号：CN103732787A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280039982.4

申请日：2012-09-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 北村一树 ,  宫川展幸 ,  西森泰辅 ,  渡边兼一郎

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/541 ,  H01L51/001

Abstract: 蒸镀装置（1）具备：蒸发源（3），使蒸镀于被蒸镀体（2）的蒸镀材料（32）蒸发；筒状体（4），包围蒸发源（3）以及被蒸镀体（2）之间的空间，在被蒸镀体（2）侧具有开口部（41）；以及修正板（5），设置于筒状体（4）的开口部（41）附近，对从筒状体（4）放射的蒸镀材料（32）的量进行控制。此外，在比修正板（5）更靠被蒸镀体（2）侧设置有扩散板（6）。通过该结构，通过扩散板（6），来自成为热源的蒸发源（3）以及筒状体（4）的辐射热不易传到被蒸镀体（2），所以即使使被蒸镀体（2）接近蒸发源（3）以及筒状体（4），也能够抑制被蒸镀体（2）的温度上升。