半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1452251A

    公开(公告)日:2003-10-29

    申请号:CN03122525.X

    申请日:2003-04-18

    Inventor: 土井博之

    CPC classification number: H01L29/866 H01L21/26586 H01L29/417 H01L29/66106

    Abstract: 本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。在占有面积变小的情况下,能够容易获得预期的稳压,而且能够防止反向耐压随时间的变动。稳压元件是由通过由P型硅酮制成的半导体基片11中的元件隔离绝缘膜12区划成的活性区域10的上部形成的、N型杂质高浓度扩散制成的N型杂质扩散层13,和在该N型杂质扩散层13的下面由P型杂质扩散成的P型杂质扩散层14构成的。N型杂质扩散层13及P型杂质扩散层14是面对半导体基片11平行设置的两层。通过该N型杂质扩散层13和P型杂质扩散层14之间的PN结形成二极管结构。P型杂质扩散层14和元件隔离绝缘膜12相邻接部分的杂质浓度设定成低于在其余的部分的该杂质的浓度。

    稳压元件及其制造方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100341156C

    公开(公告)日:2007-10-03

    申请号:CN03122525.X

    申请日:2003-04-18

    Inventor: 土井博之

    CPC classification number: H01L29/866 H01L21/26586 H01L29/417 H01L29/66106

    Abstract: 本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。在占有面积变小的情况下,能够容易获得预期的稳压,而且能够防止反向耐压随时间的变动。稳压元件是由通过由P型硅酮制成的半导体基片11中的元件隔离绝缘膜12区划成的活性区域10的上部形成的、N型杂质高浓度扩散制成的N型杂质扩散层13,和在该N型杂质扩散层13的下面由P型杂质扩散成的P型杂质扩散层14构成的。N型杂质扩散层13及P型杂质扩散层14是面对半导体基片11平行设置的两层。通过该N型杂质扩散层13和P型杂质扩散层14之间的PN结形成二极管结构。P型杂质扩散层14和元件隔离绝缘膜12相邻接部分的杂质浓度设定成低于在其余的部分的该杂质的浓度。

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