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发明公开
半导体基板保存库、保存法及用它的半导体基板制造方法无效

公开(公告)号：CN1715152A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510076482.X

申请日：2005-06-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 横井宏和 , 青木则茂 , 宫田毅 , 小仓毅勇

IPC: B65G1/00

CPC classification number: H01L21/67769 , H01L21/67017 , H01L21/67772

Abstract: 一种半导体基板保存库、保存方法及用它的半导体基板的制造方法，是在不使收纳容器的构造复杂的情况下在清洁的环境下保存半导体基板实现简便低成本高信赖性的保存库、保管方法及用它的半导体装置的制造方法。保存库(104)，包括空洞部(107)和通道部(120)。将通道部(120)的通道部门(106)与收纳容器(101)的盖体(102)的面相对紧密连接后，通过将盖体(102)从收纳容器(101)揭下，可以不使外界气体进入收纳容器(101)使空洞部(107)与收纳容器(101)连通。

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