检查装置及检查方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1967261A

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN200610162469.0

    申请日:2006-11-15

    Abstract: 在固定构件(103)(14)上设置将检查电路基板(15)(15)的第1电极(25)(25)与半导体集成电路(2)的一方的外部电极(3a)之间连接的第1导电性触头(11)(11),在可动构件(104)(16)上设置将布线基板(17)的第2电极(27)与半导体集成电路(2)的另一方的外部电极(3b)之间连接的第2导电性触头(12)(12),在可动构件(104)上设置将检查电路基板(15)的一方的第3电极(26)与布线基板的另一方的第3电极(28)之间连接的第3导电性触头(13),另一方的第3电极与第2电极连接,在可动构件(104)移动到达接触位置(A)时,第2导电性触头(12)与另一方的外部电极接触,第3导电性触头与一方的第3电极接触。

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