公开(公告)号：CN1930448A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200580007155.7

申请日：2005-02-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 安见正博 ,  小牧一树 ,  村嶋佑二 ,  中村友骑 ,  川崎哲生

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5621 ,  Y10T29/42

Abstract: 基板由单晶硅制成且具有音叉形状。所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂和用于彼此连接所述音叉臂的相应端的连接部分。角速度传感器包括：在所述基板的所述音叉臂中的各音叉臂上提供的含有氧化硅的阻挡层；在所述阻挡层上提供的含有钛的第一粘附层；在所述第一粘附层上提供的含有钛和氧化钛中至少一者的第一电极层；在所述第一电极层上提供的取向控制层；在所述取向控制层上提供的压电层；在所述压电层上提供的第二粘附层；和在所述第二粘附层上提供的第二电极层。这种角速度传感器具有小尺寸和稳定的特性。

公开(公告)号：CN100585330C

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200580007155.7

申请日：2005-02-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 安见正博 ,  小牧一树 ,  村嶋佑二 ,  中村友骑 ,  川崎哲生

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5621 ,  Y10T29/42

Abstract: 基板由单晶硅制成且具有音叉形状。所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂和用于彼此连接所述音叉臂的相应端的连接部分。角速度传感器包括：在所述基板的所述音叉臂中的各音叉臂上提供的含有氧化硅的阻挡层；在所述阻挡层上提供的含有钛的第一粘附层；在所述第一粘附层上提供的含有钛和氧化钛中至少一者的第一电极层；在所述第一电极层上提供的取向控制层；在所述取向控制层上提供的压电层；在所述压电层上提供的第二粘附层；和在所述第二粘附层上提供的第二电极层。这种角速度传感器具有小尺寸和稳定的特性。